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        • 产品名称: 高真空蒸发镀膜仪--GSL-1800X-ZF4
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪,特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜(如TiAl Au等),也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟,且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜,可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求,是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

         

        操作视频

         

        技术参数

        主要特点

        • 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
        • 采用独立的蒸镀电流控制器,操作方便快捷。
        • 真空腔体设有1KF40旁抽阀(直接与前级机械泵相连,方便快速取放样品,提高效率)、1CF150闸板 阀(直接与分子泵相连)、1KF16兰(安装电阻规)、5CF35法兰(1个安装电离规,4备用,便于安装其他设备)。
        • 在腔体底部配有5个水冷电极,可支持4个蒸镀加热舟。
        • 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板,有效地避免蒸发时相互污染。
        • 样品台安装在腔体的顶部。
        • 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪,精度为10Å
        • 可使用循环水冷机。

        技术参数

        • 输入:单相AC208-240V20A50Hz/60Hz<10KW
        • 输出:0-8V AC 可调,最大电流400A,最大功率8000W(包括真空泵)
        • 真空腔:Φ300mm(内径)×400mm,不锈钢,内壁经电抛光处理
        •     
        • 腔门:Φ200mm
        • 观察窗:Φ95mm,采用专用密封圈密封
        • 真空泵:高抽速涡轮分子泵,抽速600L/s(标配GZK-103G分子泵)
        • 真空度:5.0×10-6torr(泵开启40min后)
        • 极限真空度:5.0×10-7torr (加热温度为100℃-150℃
        • 漏率:5.0×10-7Pa/s
        • 样品台:Φ140mm
        • 蒸发舟与样品台间距:260mm
        • 冷却水需量:15L/min

        产品规格

        • 尺寸:650mm×1200mm×1600mm
        • 重量:600kg