电源 | ·电压:AC208~240V,单相 ,50/60Hz ·最大功率:9KW |
高温炉 | ·2台顶部放样的井式炉安装在手套箱底部 ·最高温度:1100℃(<30分钟) ·连续工作温度:1000℃ ·升温速率≤20℃/min ·加热区:Φ240×260mm, (11.7L) ·热电偶:K型 |
加热腔体 | ·石英腔体:Φ200×340mm ·可选购SS310不锈钢(<900℃),哈氏合金腔体 |
温控系统 | ·PID 自动控制和,带有温度自整定功能 ·控温精度:±1℃ ·50 段可编程,实现精准过程控制 ·内置过热和热电偶故障保护 |
坩埚 | ·标配石英坩埚:120(内径)114(外径)×150(高)mm ·可更具客户要求定制其他材质坩埚,如石墨,哈氏合金等(需额外费用) ·一个石英框架固定坩埚,对齐电极(如下图) |
电极 | ·3个 1/8 英寸铜质电极馈通,配有铜质适配器,可与任何类型Φ6mm的电极连接 |
密封法兰 | ·配有不锈钢水冷密封法兰,用于炉体和手套箱的密封连接 ·法兰上安装有Φ6.35mm的进气口和出气口,不锈钢截止阀 |
电动升降机构 | ·手套箱顶部安装有一个电动升降机构,用于电极安装和拆卸 |
直流电源 | ·电压:0-30VDC(可调节) ·电流:0-70ADC(可调节) |
循环净化手套箱 | ·一个循环净化手套箱,水氧含量<1PPM ·手套箱详细信息可点击查看VGB-6-II |
循环水冷机 | ·配有2台循环水冷机对法兰密封圈进行冷却KJ-5000 |
设备尺寸 | ·约3235mm(L)×1040mm(W)×1860mm(H) |