中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 连熔石英管
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

         本公司提供各种尺寸型号的高纯度的石英管,与本公司生产的各式各样的管式炉相匹配。

         具体尺寸型号请看下图:
         

        名称

        管径

        长度(单位mm)

        适用设备

         

        常规连熔石英管

         

        Φ25

        1000

         

        合肥科晶1100-1200℃管式炉系列

        Φ50

        450,600100012001400

        Φ60

        450,100012001400

        Φ80

        1000,12001400

        Φ100

        1000,12001400

        异型连熔石英管

        Φ60

        1200×4英寸,1200×5英寸

         

        合肥科晶1200℃回转炉系列

        Φ100

        1200×3英寸

         

        石英管使用注意事项:

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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