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        • 产品名称: 单靶大功率直流磁控溅射仪--VTC-16-SM
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

            VTC-16-SM是一款桌面式等离子磁控溅射镀膜仪,包含一个2英寸水冷靶头(另有1英寸靶头可选)和可旋转样品台,外形小巧,性价比高,是制作各种金属薄膜理想的镀膜设备,可选配各种金属靶材和真空泵。

         

             免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

         

        用直流磁控溅射仪可获得单相Al

         

        技术参数

        名称 2"单靶直流磁控溅射仪

         

         

        视频

                       宣传视频

         

         

         

        基本参数

         

        输入电压 AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz    输入功率 <2KW  

         

        输出功率: 电压:1600VDC    最大电流:150mA 

         

        腔体:167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height

         


         

         

         

         

         

         

         

         

        溅射头和样品台


         

         

        • 一个直径50mm不锈钢样品台,样品台可旋转,旋转速率0 - 5 RPM 

         

         

        • 配有一手动操作的挡板,包含靶头支撑架

         

         

        • 样品台和靶头之间的距离可以调节,调节范围:60-100mm


        •       


        •     (点击图片查看详细资料)

         

         

        控制面板

        6" PLC集成触摸屏控制面板,可控制真空、电流、靶材位置和基片加热温度


         

         

         

         

         

        附件(可选)

         

        • 双极旋片真空泵VRD-8(可选配)KF25接口

         

        • KF25不锈钢波纹管

         

        • 10L/min 循环水冷机冷却磁控靶头  
            

         

         

        气氛

        含一个控制进气的针阀和一个放气阀


         

        靶材


         

         

        • 适合溅射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn等金属,可选购

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        可选配件


        • 膜厚监测仪

         

         

        • 分子泵,可获得高真空, >10E-5 torr

         

         

        • 为获得最好的薄膜强度,建议镀膜前用等离子清洗机对基片进行清洗。

         

         

        • 500度样品加热台         
            


         

         

         

         

        尺寸

           

              


          L 440mm×W 330mm × H 290mm 

         

        净重

        20 kg ( not included pump )

         

        质保和证书

        • 一年质保,终生维护

        • CE认证

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