中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 多通道质子流量计控制系统--GSL-LCD(控制面板为触摸屏)
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             GSL-LCD是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
         

        操作视频


         

          技术参数

        功能

        双通道

        三通道

        四通道

        五通道

        质子流量控制器

        工作温度:5~45ºC  
        最大压力:3x106 Pa  
        精度: ±1.5% FS  
        线性±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
        流量范围:
        一路:1~199 SCCM
        二路:1~499 SCCM
        注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

        工作温度:5~45 ºC
        最大压力: 3x106 Pa
        精度: ±1.5% FS
        线性: ±0.5-1.5%F.S.
        重复精度: ±0.2%F.S.
        流量范围:
        一路: 0~100 SCCM
        二路: 1~199 SCCM 
        三路: 1~499 SCCM 
        注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

        工作温度: 5~45 ºC
        最大压力:3x106 Pa
        精度: ±1.5% FS
        线性: ±0.5-1.5%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.
        流量范围:
        一路: 0~100 SCCM
        二路: 1~199 SCCM
        三路: 1~199 SCCM
        四路: 1~499 SCCM
        注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

        工作温度: 5~45 ºC
        最大压力: 3x106 Pa
        精度: ±1.5% FS
        线性: ±0.5-1.5%F.S.
        重复精度: ±0.2%F.S.
        流量范围:
        一路: 0~100 SCCM
        二路: 1~199 SCCM
        三路: 1~199 SCCM
        四路: 1~499 SCCM
        五-九路可按照客户要求定制

        输入电源         AC 220V/50Hz单相

        功率

                23W

        PLC触摸屏

        • 各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上 
        •  RS485 通讯接口和PC控温软件可以连接到电脑上,进行远程控制
           

         

        机械压力表

         

        • 有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接
        • 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

        针阀

                316 不锈钢

        通气管道

        • 内部连接管道为1/4”不锈钢管 
        • 外部通气管道为1/4”聚四氟管

         

        混气罐

               Φ80X120mm

        截止阀及配件

        • 316不锈钢针阀 
        • Φ1/4” 不锈钢管

        外形尺寸

                600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

        质量认证

            CE认证

        质保期

            一年质保期,终身维护

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