• 产品名称: 小型程序控温蒸发镀膜仪--GSL-1700X-SPC-2
  • 产品编号: GSL-1700X-SPC-2
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  • 产品型号:

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   GSL-1700X-SPC-2是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪,可以设定程序,精确控制温度200ºC~1500ºC(或者1200ºC~1700ºC),最大可蒸镀直径2英寸薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

 

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技术参数

名称 小型程序控温蒸发镀膜仪

 

 

 

视频

 

 

             操作视频

 

 

 

 

结构&特点


  • 真空腔体为直径6英寸的石英腔体,易清洁和放入样品

 

 

  • 安装有一个2英寸的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜达到更好的均匀性

 

 

  • 采用钨丝篮作为发热源,最高温度可达到1700℃,并且配用专用氧化铝舟,可装入样品(仅1600℃以下使用,若蒸发温度大于1600℃,样品应直接放在钨丝篮中)

 

 

  • 精确控温:可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1


 

 

 

电源


  • 电压:  AC 208 - 220V 50/60Hz , 单相, 50/60Hz


  • 最大功率为:500W 最大电流为30A

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

温控及加热源


  • 采用钨丝篮作为发热源,并且配有专用的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制(如图1)

 

 

  • 标准采用S型热偶:工作温度为200℃-1500℃

 

 

  • 可选B型热电偶:工作温度为1200℃-1700℃

 

 

  • 安装有一个数显的温度控制器:可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1ºC(如图2)

 

 

  • 也可将仪器转换到手动调节接状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可高达2000℃,可达到对样品镀碳等实验(如图3)

 

 

  • 仪器中配有2个钨丝篮(如图4)
 
(图片1) (图片2) (图片3) (图片4)

 

 

 

样品台


  • 仪器顶部安装有样品台,直径为Φ50mm

 

 

  • 样品台可旋转,转速为:5rpm

 

 

  • 样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:60mm-100mm


 

 

 

 

 

真空计(可选)


  • 可选购一数显防腐真空计PCG554,测量范围为:3.8x10-5-1125Torr

 

 

 

 

 

 

 

进气口


  • 进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜

 

 

  • 进气口安装有一针阀,用于调节进气流量


 

 

 

 

 

 

 

 

真空系统(选配)


  • 设备上有一KF25接口用于连接真空泵

 

 

  • 最高真空度可达4.0E-6 Torr(采用涡旋分子泵)

 

 

  • 双极旋片真空泵或干泵,可使仪器真空腔体的真空度达到10-2Torr

 

 

  • 真空度达到10-2torr时,可蒸发一些贵金属,如金和铂,也可蒸发一些有机材料,可选购数显防腐真空计PCG-554(测量范围3.8x10-5 to 1125 Torr.)

 

 

  • 高真空度可达4.0E-6 Torr(采用涡旋分子泵),此时可蒸发对氧敏感的材料,如Al. Mg, Li,分子泵上带有复合真空计(最高可测量真空度为1.0E-7Torr)

 

 

  • 可在本公司选购各种真空泵和真空计

 

 

 

进气接口


  • 一Φ6.35卡套接头,用于向腔体中通入气体

 

 

  • 一个调节阀安装在仪器上,用于调节进气流量

 

 

 

 

 

耗材


  • 标配中有5个氧化铝坩埚和2个钨丝篮

 

 

  •     

 

 

 

 

 

外形尺寸


  • 440mm*330mm*520mm

 

 

 

 

质量认证


  • CE认证

 

 

  • 一年质保期终身维护

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

注意事项


  • 为了获得高真空度,可采用以下做法
    (1)使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕,并用酒精擦洗
    (2)抽真空时,用外部加热装置将腔体烘烤到200℃,氧化铝坩埚预加热到500℃,保持2小时

 

 

  • 此款蒸镀仪可以放入到手套箱里操作,用于蒸镀一些在常温下对氧气敏感的材料,比如金属Li等。(可在本公司选购开启式手套箱VGB-6

 

 

  •   

 

 

  • 使用温度高于1300℃时,保温时间不可大于1小时,否则会损坏密封圈

 

 

  • 当腔体的各阀门关闭时,请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热

 

 

  • 当仪器正在蒸发材料时,不可打开泄气阀或关闭真空泵,只有当加热温度降至100℃时,才可放气或关闭真空泵

 

 

 

 

 

 

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