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1400℃炉门和门堵一体化箱式炉（MAX:1400℃，容积：36L，高温开门取放样，无门堵）
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1200℃双炉氢化物气相外延系统（HVPE）
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1400℃炉门和门堵一体化箱式炉（MAX：1400℃，容积：3.4L，高温开门取放样，无门堵）
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1400℃炉门和门堵一体化箱式炉（MAX:1400℃，容积：8L，高温开门取放样，无门堵）
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1200℃梯度可调提拉式晶体炉
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900℃双温区旋转CVD炉（配备不锈钢异形耐压管，最大压力0.1MPa)
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皖公网安备 34012302000974号
