1200℃升华沉积收集高温炉系统
型号:
OTF-1200X-III-200
产品概述:
OTF-1200X-III-200升华沉积收集系统如图所示:系统分为升华组件、保温组件、沉积收集组件三部分,通过对物料的气化升华、保温和冷凝收集,实现对物料分离和提纯的功能。
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设备名称型号

· 1200℃升华沉积收集高温炉系统   OTF-1200X-III-200


基本参数

· 电源:AC 380V  50HZ

· 功率:28KW

· 设备整体壳体采用不锈钢拉丝板制成


炉管与进气管

· 设备标配一根异形石英管,在长度1300mm处垂直向下

· 石英管尺寸:外径φ200*5*边长1400/1300mm

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· 法兰的进气口内部安装了一个单端开口石英材质的进气管,尺寸:外径φ25*壁厚3*长度265mm。进气管末端有一些通孔,使气体能分散喷出

· 在气体预热炉炉膛内安装了一个多孔石英挡板,有八层,每层间隔53mm,总尺寸:直径φ186*长度403mm。多孔石英挡板能够提高气体加热换热面积,使气体能充分预热

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· 炉管左端安装了一个多层磨砂石英挡板作为管堵使用


气化升华炉

· 最高加热温度:1100℃(<30min)

· 长期使用温度:1000℃

· 推荐升温速率:≤10℃/min

· 加热区长度:400mm(200+200)

· 加热元件:电阻丝

· 热电偶:K型 


气体保温炉

· 最高加热温度:1100℃(<30min)

· 长期使用温度:1000℃

· 推荐升温速率:≤10℃/min

· 加热区尺寸:水平部分长度 400mm,垂直部分长度:400mm

· 加热元件:电阻丝

· 热电偶:K型 


冷凝管式炉

· 最高加热温度:1100℃(<30min)

· 连续工作温度:1000℃

· 推荐升温速率:≤10℃/min

· 加热区长度:400mm

· 加热元件:电阻丝

· 热电偶:K型 


不锈钢密封系统

· 一对316L材质的不锈钢密封法兰安装在炉管两端

· 左端法兰上有两个φ6.35mm的双卡套进气口,一个为工作气体进气,一个为惰性气体进气口,两个进气口分别通过一个电磁阀自动控制进气的通断;安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力,一个KF16接口上安装了一个数显防腐真空计;安装了一个压力变送器,使设备炉管内的压力集成在PLC系统上,满足了客户远程监测压力的要求;法兰端盖上预留了一个热电偶接口

· 下法兰上留有KF50接口,可通过波纹管与真空系统连接

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收集罐组件 (选配)

· 立式炉底部法兰采用快速连接的方式安装了两个球阀,两个球阀底部与收集罐连接;球阀与收集罐均为316L材质

· 收集罐尺寸约:φ166*290mm(高)

· 收料罐上盖另有一个KF接口,可用于连接其他检测设备

· 一个可伸缩的升降平台放置在收料罐底部,可调节收料罐与炉管法兰的间距

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控制系统

· 气化升华炉、气体保温炉与冷凝管式炉都包含一款858P型温度控制器;分别独立控温,控制系统集中在控制柜上

· 智能化50段可编程控制

· 内置过热保护和热电偶故障报警

· 控温精度:±1℃

· 默认DB9 PC通信连接端口

· 通过MET认证

· 整套系统的升降温全部采用PLC集成控制,并提供控制系统的通讯协议,同时留有TCP通讯网口,便于客户通过网口和设备进行通讯和控制;系统自带一个11英寸的触摸屏,可以实时显示各个炉子的温度参数和温度曲线数据

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真空系统(选配)

· 型号:VRD-16

· 抽气速率:4.4 L/S

· 电机功率:550 W

· 极限压强:4×10-1Pa(不带负载)

· 为了得到更高的真空度,可以选购我公司的其他高真空系统

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设备外形尺寸

· 炉门关闭:2020*600*1620mm(长*宽*高)

· 炉门开启:2020*720*1920mm(长*宽*高)

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重量

· 约330kg


质保

·一年质保期,终生维护

· 特别提示:

1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内


注意事项

· 炉管内气压不可高于0.02MPa(相对气压)

· 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责


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