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        产品详情
        • 产品名称: 混气系统2路浮子--CGM-2F
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: CGM-2F
        • 浏览次数: 997

             CGM-2F是一款小型的两通道混气系统,用于惰性气体的控制,可用以小型管式炉,手套箱,等离子清洗机,小型PECVD系统等。

         

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         技术参数

        名称

        小型双通道浮子混气系统--CGM-2F

        浮子流量计

        两个浮子流量计可以将流量速率控制在16 to 160 mL/min

        混气罐

        内置一个不锈钢混气罐,可以良好的混气

        机械压力表(混气罐)

        -0.1-0.15 MPa

         

         

         

        关键和阀门

         

        ·采用ss304不锈钢

         

        ·三管件接口直径为1/4接管可选聚四氟或不锈钢)

          

        外形尺寸

        340 mm L x 300 D mm x 180 H mm 

         

         

         

         

         

         

        可选

         

        ·CVD或者PECVD

         

        ·液相气体发生器

         

        ·1200℃微型二通道混气CVD系统--OTF-1200X-S50-2F

         

        ·Plasma等离子清洗

            

        净重

        10 Kg

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


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        免责声明

         

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