中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1200°C三温区带铰链式法兰管式炉--OTF-1200X-III-SHG
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           OTF-1200X-III-SHG是一款通过CE认证的小型3温区管式炉,三个温区都有独立的温控系统,并采用PID30段程序化控温,其控温精度+/- 1 °C。对于在气氛保护或真空环境下对样品进行退火、扩散或烧结OTF-1200X-III-SHG是一款理想的管式炉.

         技术参数

        炉体结构

        • 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度在安全范围内
        • 炉膛材料采用高纯氧化铝纤维,可最大程度减小能量损失
        • 仪器中配有4个氧化铝管堵,为防止热量以热辐射形式散失和确保温场均匀性,设备使用前必须放入管堵。
        • 为保证管内的洁净性和得到较好的真空度,可以选配石英管堵
        • 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 (点击图片查看详情细资料)
              

        输入电压

        AC 208-240V 单相 50/60 Hz (40A 的空气开关 )

        最大功率

        4.8 KW 

        加热元件

        掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其最大程度延长使用寿命)

        加热区域

        • 总加热区长度: 610mm 
        • Z1-Z2- Z3152.4mm (6") + 304.8mm (12") + 152.4mm (6")
        • +/-1ºC恒温区: 260 mmL
        • +/-2º恒温区: 480 mmL  注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 
        • (三个温区设置同样的温度)

        石英管尺寸

        • OTF-1200X-III-SHG-80   80 O.D x 72 I.D x 1200L (mm)
        • OTF-1200X-III-SHG-4101 O.D x 92 I.D x 1200 L (mm)
        • OTF-1200X-III-SHG-5130 O.D x 122 I.D x 1200 L (mm)

        工作温度

        • 最高工作温度: 1200°C;
        • 连续工作温度: 1100°C;
        • 最大升温速率: 20°C/min;

        温控系统

        • 三个温区单独控制,都采用PID30段程序化控温,其控温精度为+/- 1°C
        • 仪器上设有过热和断偶保护
        • 三个热电偶采用K型omega热电偶(dia50,60,80,100mm的炉管)
        • 可选配PC控制软件,可将控温程序和升温数据导入电脑中  
        • 控温仪表操作视频

        真空法兰

            

        真空度:10-2 torr (用机械泵)

                         10-5 torr(用分子泵)

        可选配件

        高真空机组机械泵

         

        外型尺寸

        750mmL x525mm Wx670mm H 

        开门断电 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
           

        净重

        ~70 kg

        质保期

        一年质保期. (不包括炉管、加热元件和密封圈损耗件 )

        质量认证

        CE认证

        国家专利  

        专利名称:一种宽范围工作温度可开启式高温管式炉

        专利编号:ZL-2011-2-0389859. 8

        尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究 

        使用注意事项:
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

         

        STANDARD PACKAGE WITH FURNACE

         

        No. NAME Qty PIC ITEM No.
        1 Compact Digital Vacuum Gauge & Controller with Power Supply (Up to 10-4 Torr),  1 pc
        EQ-CVM-211
        2 Fused quartz tube 1 pc EQ-QZTube-101D-1400
        3 Alumina fiber foam tube block 2 pcs EQ-F-T-block-52
        5 Hook for moving the sample   EQ-FLG-kit-2
        6 Metric Hex-wrenches 1 set

        AVAILABLE OPTIONAL ACCESSORY
        Part No.
        Description
        Quick Link
        EQ-MTS02 Computerized temperature Control System
          High vacuum station (Mechanical pump + turbo molecular pump.)
          Gas mix station (Float flow meter / Mass flow meter) (2, 3, 4channels selectable)
          Compact Flow Meter (float flow meter / mass flow meter)
        EQ-QBlock-90 90mm O.D heat insulatingquartz block 
          Quartz Boats /curcible /container /sample holder
        EQ-FM-Cart
        Heavy Duty Mobile Car for All MTI Tube and Box Furnaces