中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1200℃ 4英寸双温区回转CVD管式炉--OTF-1200X-4-R-II-AF(带自动送料器和收料系统)
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           OTF-1200X-4-R-II-AF是一款双温区回转管式炉,安装有自动送料器和收料罐。自动可定份额地将粉料送入到炉管中,此过程可在气氛保护环境下进行,可实现用连续CVD方法对粉体材料进行包覆和修饰。收料罐可在气氛保护环境下对处理好的粉料进行收集。此款管式炉设计主要是在锂离子电池的阴极材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆导电层,同时也可用CVD方式制备 Si/C 阳极材料。

         

        技术参数

        炉体结构

        • 双层炉体结构,并带有风冷系统
        • 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有氧化铝涂层
        • 采用直流电机带动炉管转动,其转速:0 - 10 RPM
        • 炉体可倾斜,最大倾斜角度为30°
        • 炉体开启式设计,可以达到快速冷却和便于更换炉管

        自动送料器

        • 炉体上安装有自动送料器,带有密封结构,可在惰性气体保护环境下,将粉料送入到炉管内
        • 送料速率可以通过电位计调节,最大送料速率为:97cm^3/min
        • 一个不锈钢收料罐(容积为1L),安装在出料端,可以在气氛保护环境下收集处理好的物料
        •     

        加热区长度

        • 2个加热区,每个加热区长度为200mm,总加热区长度为400mm
        • 恒温区长度:200 mm(+/- 1,两个温区设置同样的温度)

        炉管&封法兰

        • 石英炉管尺寸:  100 mm O.Dx 1200 mm L (异型管)
        • 两端直径为60mm) 
        •   
          Four Mixing Blades    Dimension
        • 炉管中焊有杨料板,可以更好的使材料混合
        • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰(法兰上安装有不锈钢针阀和旋转接头)

        工作温度

        • 最高工作温度:1200℃(<1小时)
        • 连续工作温度:1100℃

        温控系统&热电偶

        • 两个温区有两个独立的温控系统控制,都可设置30段升降温程序
        • 采用Omega K型热偶

        炉管转动速度

        0 - 10 RPM(可调)

        倾斜角度

         左: 0~30°: 右: 0~15°

        极限真空度

        4.5x10-2 torr(采用机械泵)

        功率

        • 回转炉:4KW
        • 送料器:200W

        电压

        AC208 - 240V 单相 (需要30 A的空气开关)

        质保期

        一年质保期,终生维护(不包含炉管,密封圈和加热元件)

        质量认证

        仪器尺寸

        • 炉体: 1300mm × 600mm × 1200mm 
        • 送料器: 220mm × 220mm × 202mm 

        净重

        125kg

        应用

        • 可配合本公司的供气系统,采用CVD方法对粉体材料进行包覆和表面修饰
        • 可选购大容量的自动送料器

        警告

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)