中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 5英寸旋转CVD管式炉--OTF-1200X-5L-R-CVD
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋转CVD炉。炉体有3个加热区,可提高温度均匀性,同时配有4通道的精密混气系统。此款管式炉设计主要用于电池粉体材料表面包覆或其他粉体材料表面修饰。设备相关论文(点击查看)

         

        技术参数

        炉体结构

        • 采用双层壳体结构,并带有风冷系统
        • 采用高纯氧化铝作为炉膛材料,可以最大程度减小能量损失
        • 直流电机带动石英管转动,其转速为0 - 10 RPM
        • 炉体可倾斜角度为30°
        • 炉体设计为开启式,以便于操作和对样品进行快速冷却

        加热区

        • 三个温区总长度:600mm
        • 温区 1: 150 mm  ( 6")
        • 温区 2: 300mm  ( 12")
        • 温区3: 150 mm ( 6")
        • 恒温区为:[email protected]+/-2℃(三个温区设置同样的温度)

        炉管

        • 仪器中包含一根石英管
        • 尺寸:130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm (两端直径 )
        •    
        • 仪器中包含一套不锈钢真空法兰(上面已经安装了不锈钢针阀)

        接头

        • 进气端接口:Φ6.35的卡套接口
        • 出气端接头:Φ12的宝塔嘴接头

        工作温度

        • 连续使用温度:1100℃
        • 最高工作温度:1200℃< 1 h

        温控系统

        • 三个温区采用三个温控系统独立控制,都是采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序
        • 炉体上安装有RS485接口,可选购控温模块,采用电脑控制炉体升温

        热电偶

        • 三根 Omega K 型铠装热电偶

        真空泵和冷井

        • 配有一双极旋片真空泵,上面安装有油雾过滤器
        • 可以选购冷井,防止实验中的沉积物损害真空泵
        •  

        供气系统

        • 4通道精密气体控制系统,采用质量流量计,触摸屏控制,可同时通入1-4种不同气体
        • 注意:如果通入的是易燃易爆型气体,必须将设备安装在通风柜中

        最大功率

        4KW

        电压

        208 - 240V单相(需要30 A 的空气开关)

        质保

        一年质保期,终生维护(不含炉管,密封圈和加热元件)

        质量认证

        净重

        130kg

        应用注意事项

        • 此套设备可以配合本公司连续送料装置来达到连续进料的效果
        •  

        警告

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)