| 设备名称型号 | · 1200℃小型流化床CVD炉（带1英寸外径石英管和法兰，用于粉末CVD） OTF-1200X-S-FB |
| 炉体结构 | · 采用双层壳体结构，并带有风冷系统 · 炉膛采用高纯多晶氧化铝纤维作为材料，最大程度的减少能量损失 · 内炉膛表面涂油美国进口1750度高温氧化铝涂层，可以提高反射率及设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 · 炉体设计为开启式，方便更换炉管 · 专门针对粉末表面沉积的CVD实验 |
| 基本参数 | · 电源：AC220V 50/60HZ · 功率：1.2KW · 最高温度：1200℃ · 长期工作温度：1100℃ · 加热元件：掺钼铁铬铝 · 推荐升温速率：≤10℃/min · 热电偶：K型 · 加热区长度：200mm |
| 炉管 | · 材质：采用高纯特制石英炉管 · 尺寸：两端φ25mm（中间φ50mm）长度482mm · 多空石英板孔径：10-15微米 尺寸：φ22mm*4mm厚
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| 温控系统 | · 包含一款858型温度控制器 · PID自动控温系统 · 智能化30段可编程控制 · 默认DB9 PC通信连接端口 · 通过MET认证 |
| 不锈钢密封系统 | · 上端法兰安装了一个φ6.35的卡套接头作为出气口使用，一个不锈钢针阀控制出气的通断，安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力，一个铠装接口为备用接口 · 下端法兰上的一个φ6.35的卡套接头作为进气口使用。一个不锈钢针阀控制进气的通断 |
| 真空系统（选配） | · 采用双旋片式机械泵真空度可以达到10-2toor · 如果想要获得更高的真空度（10-5toor 或更高）可选购国产或进口高真空机组
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| 设备外形尺寸 | · 340mm（L）*300mm（W）*1300mm（H）（长度包含炉管与法兰） |
| 重量 | · 约20KG |
| 质保 | · 一年质保期，终生维护 · 特别提示： 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
使用注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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皖公网安备 34012302000974号
