中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


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如何选择管式炉

浏览次数: 日期:2017-02-17
此文为科晶加热炉的选购步骤及基础知识。文中链接较多,欢迎点击。全文阅读时间约为5分钟。
 
 
1、根据实验所需的最高温度选择合适温度区间的加热炉
 
A.选择工作温度时请注意仪器所能保持的最高温度(<1小时)和仪器能连续工作的温度(安全、连续使用的温度)
  • 例如:科晶GSL-1700X管式炉
  • 最高加热温度1700,连续工作温度1600 ,如有不清楚的地方,请联系科晶销售
B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的最大工作温度,目前我公司加热元件可分为四类:
  • (1)250 ~ 1250 采用电阻丝加热元件,最高加热温度1200,长时间使用1100或红外灯管加热元件,采用K型热电偶测温(如果客户需要也可更换为S热偶)
  • 例如:科晶OTF-1200X-S
  • (2)1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加热元件,采用S型热电偶测温                                          
  • (3)1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加热元件(禁止长时间在800以下加热),采用B型热电偶测温                            
 
2、根据样品大小选择合适的坩埚及炉管管径,选择容积合适的加热炉。(不建议不用坩埚载料直接将样品放入炉管)
 
A.坩埚选择
  • a.石英坩埚≤1200使用石英管,热处理温度超过600时,请不要用氧化铝坩埚
  • b.氧化铝坩埚≤1800使用刚玉管,热处理温度超过900时,请不要用莫来石坩埚
  • c.石墨坩埚≤ 2300
     
  • 例如:1.需要对粉末进行900热处理,选择石英坩埚装载样品  
          2.需要将合金在1600融化,选择氧化铝坩埚
B.管径的选择
        样品正好放入           样品过大           选择大管径加热炉

名称

型号

管径

科晶OTF系列

OTF-1200X-S

Φ25、Φ50

OTF-1200X

Φ50、Φ60、Φ70、Φ80、Φ100、Φ130

科晶GSL系列

GSL-1100X-S

Φ20、Φ50

GSL-1100X-6-S

Φ152

GSL-1100X-8.5-S

Φ216

 

型号

管径

科晶GSL系列

GSL-1400X

Φ60、Φ80

GSL-1500X

Φ80

GSL-1600X

Φ60、Φ80

GSL-1700X

Φ60

GSL-1750X

Φ60

GSL-1800X

Φ60

 

3、如何根据坩埚选择管式炉?(点击此链接)
 
4、根据实验要求选择单温区管式加热炉和多温区管式加热炉,多温区较单温区会设有多个热电偶,n温区加热炉的恒温区比(n-1)温区的加热炉恒温区要长,部分仪器尺寸变大
5、根据功能选择加热炉
 
A、管式炉为基础加热系统,您可以根据不同的需求选择成套科晶系统,如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2维材料生长系统等
  • 例如:(1)生长石墨烯/PECVD系统,整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统
     实图1  实图2   CVD系统 PECVD系统       
  • (2)立式管式炉:加热管垂直放置,以悬吊样品的方式,为样品提供淬火
     
  • (3)RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却
  • 例如:a.OTF-1200X-4-RTP快速退火管式炉,最快50/s升温速度,红外灯管加热

  • b.OTF-1200X-50-S 迷你型快速加热冷却炉,加热炉加热到某一温度后,滑至样品所在区域,可以提高升温速度,热处理结束,将炉体移开,使样品所在区域暴露在空气中,快速冷却

  • (4)高压力/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管,对样品进行高温高压和真空处理

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  • (5)旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末,同时也可以达到粉末均匀包覆的效果

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  • (6)特殊能力气体处理炉/氢气炉:氢气处理或其他危险气体的实验,请和销售技术人员提前说明。不建议使用普通管式炉做危险实验。
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   6、选择有相关认证的管式炉

  • 合肥科晶所有炉子的电子元器件均采用UL认证器件。
  • 合肥科晶保证加热炉可单台可通过认证(可能会产生部分认证费用,具体请咨询销售)
 
7、选择合适的真空泵:本公司多种真空泵可选

 
9、定制炉:定制炉由于其特殊性请和销售部直接沟通
 
10、如果您还有不明白的地方,请您联系我们 (点击文字查看联系方式)

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