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        如何根据应用选择本公司溅射镀膜仪或蒸镀仪

        浏览次数: 日期:2016-12-29

                                            如何根据应用选择本公司溅射镀膜仪或蒸镀仪

         

         

        应用

        设备

        特点

        1

        表面镀贵金属用于薄膜研究(<2”

        3靶等离子溅射镀膜仪VTC-16-3HD

        同一腔室中3靶头用于贵金属的溅射镀膜

        2

        表面镀各种金属用于薄膜研究(<2”

        小型等离子磁控溅射镀膜仪VTC-16-SM

        磁控溅射镀膜

        最大溅射电流可达150mAƒ可用于溅射各种轻金属如Al,  Sn, Zn 等

        3

        表面镀绝大多数的金属或无机非金属材料薄膜(<2”

        精密温控高真空蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2

        高真空蒸发镀膜仪

        蒸镀温度从200-1500℃(或选配B型热电偶,蒸镀温度可从1200-1700℃

        4

        表面镀氧化物薄膜(<2”

         

        1英寸或2英寸300W射频等离子磁控溅射仪VTC-2RF

         

        低成本

        射频电源

        5

        各种材料表面进行光学涂层(多晶)(<4”

        超高真空4蒸发舟蒸发镀膜仪GSL-1800-ZF4

        分子泵高真空

        4个蒸镀加热舟

        6

        金属及无机非金属氧化物薄膜的外延生长(<4”

         

        DC/RF双靶头高真空等离子磁控溅射镀膜仪VTC-600-2HD

        配备有直流以及射频电源,分子泵

        可用于各种材料薄膜的外延生长

        ƒ同时配备测厚仪实时监控薄膜厚度

        所属类别: 咨询

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