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名称
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3"等离子清洗机--PDC-36G
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视频
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主要特点
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·结构紧凑、小型化的桌上型仪器
·用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物
·在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀膜的质量可以更好
·铰链式门，方便装样
·石英腔的直径是3英寸，在里面可以放入一个石英舟，最大清洗一个2英寸的基片
·清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更换
·使用可调射频电源，可以设置功率为低、中、高级别；低成本、操作安全
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主要参数
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·低功率设定：直流680V，10mA,6.8W
·中功率设定：直流700V，15mA,10.5W
·高功率设定：直流720V，25mA,18W
·射频源输出频率：13.56MHz
·等离子直流电源
·输入电压：220V,50Hz
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等离子腔室
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·直径75mmx长200mm的石英墙体，前盖可以开启
·高纯度石英腔体，使用寿命比玻璃长
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真空计
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设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。
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可选配件
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·您可以订购额外的石英腔体，用于备用
·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案，PDC-36G等离子清洗机可以与2路混气系统组合（点击下面第一张图片了解详情）
·您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片
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真空泵和阀
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·此设备不包含真空泵
·您可以点击下方图片了解真空泵信息
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工作气体
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·多种气体可以用于等离子清洗，例如氮气、氩气、空气、混合气体，主要取决于处理何种材料。
·可以使用<4％的H2混合惰性气体
·警示：不能使用可燃性及腐蚀性气体
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等离子清洗及刻蚀的方法
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外形尺寸
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353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）
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净重
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8kg（不含泵）
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认证
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CE认证
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质保期
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一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
点击查看售后服务承诺书。
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工作原理
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等离子清洗机工作原理
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免责声明
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