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        产品详情
        • 产品名称: 8.5英寸等离子清洗机- PCE-80
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: PCE-80
        • 浏览次数: 1556

               PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

         

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         技术参数

        名称

        等离子清洗机- PCE-80

         

         

         

         

        主要参数

         

        ·最大射频功率: 100 W

         

        ·真空泵功率: < 500W

         

        ·总功率: < 600W

         

        ·电源:AC 220V , 50Hz

         

         

         

         

        射频电源

         

        · 射频功率可在 0 - 100W之间调节

         

        ·频率: 13.56 MH

         

        ·可以与本公司工作人员联系将原有电源升级为300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀等离子灰化等实验

         

         

         

         

         

        等离子腔体

         

        ·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

         

        ·铝制折叠式法兰来进行真空密封

         

        ·法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

         

        ·此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏

         

         

         

         

         

        控制面板

         

        ·通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等

         

        ·仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

         

         

         

         

         

         

        真空泵(选配)

         

        ·仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

         

        ·极限真空度为50mTorr参考值,具体请点击

         

         

         

         

        通入气体

         

        ·离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

         

        ·不使用易燃气体及腐蚀性气体。

         

         

         

         

         

         

        可选

         

        ·可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

         

        ·可选购2-4通道质子或浮子混气系统   

         

        外形尺寸

        620 L ×600 W ×600 H mm

        认证

        CE认证

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。

         

        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        点击查看售后服务承诺书

         

         

         

         

         

        相关应用

         

        ·请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率

         

        ·对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 - 30W之间

         

        ·对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在35 - 80W之间

         

        ·可根据要求提供300W高功率射频电源

         

         

         

        免责声明

         

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