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        产品详情
        • 产品名称: Si+SiO2+Ti+Pt <111> (dia2"进口薄膜)
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 418

        产品名称:

        Si上镀SiO2+Ti+Pt<111>薄膜(进口料)

        薄膜参数:

        Si参数:

        P型,R;5-10ohm.cm

        SiO2参数:

        300nm

        Ti参数:

        10nm

        Pt <111>参数:

        150nm

        Pt薄膜最大热预算:

        < 700~750 degree C / 1 hr(Maximum Thermal Budget of Pt film)

         

        常规尺寸:

         dia2" ±0.5 mm x 0.279 mm、单抛;

        数据图: AFM 图

        标准包装:

         1000级超净室100级超净袋真空包装或者单片盒装

         

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