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        产品详情
        • 产品名称: 1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统- OTF -1200X-4- C4LVS
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号: OTF -1200X-4- C4LVS
        • 浏览次数: 2869

           OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

         
        特点:  
        1.双石英管:外管直径100mm ,悬挂的内管直径 80mm. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
        2.双管的真空密封法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.
        3.四通道质量流量计控制4路气体。
        4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。
        5.炉子底部装有滑轨:炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温.

         技术参数

        名称     1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统
        视频

             

            

                           

                          操作视频

        炉体结构
        电源      电源:208-240VAC,  50/60Hz, 单相,  2.5KW ( 20A 保险丝)
        加热温度      最高温度: 1100°C
             连续温度: 1000°C
        加热区
             加热区长度: 440mm 
        加热和冷却速度     最快的加热和冷却速度跟工作温度有关,  请点击下图可以看出最快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。
        ( 在使用炉子之前,要校准工作温度和加热、冷却速度 )


        click to enlarge click to enlarge
        加热 冷却
        石英管     外管:    OD100 x ID 96 x 1400, mm
            内管:    OD80 x ID 75 x 1800 mm
        真空法兰
        • 一对 SS304不锈钢法兰,通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。
        • 炉子底部装有一对滑轨
        • 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。
        • 为了得到较快的加热速度,可以先将炉子预热,然后滑到放置样品的位置。
        • 为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端,同时将冷却气体通入样品所在的位置。
        左法兰(点击放大) 右法兰 (点击方大)

        • 极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)
                            10^-5 torr (分子泵)
        • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

              

         

        温控仪
        混气系统 4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制.
        • MFC 1范围:  0~100 sccm
        • MFC 2范围:  0~200 sccm
        • MFC 3范围:  0~200 sccm
        • MFC 4范围:  0~500 sccm
        • 气路: 4 路
        • 流量精度: 0.2%
        • 进气和出气接口: 1/4" 卡套
        • 一个混气罐.
        • 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  
        • 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量. 请看下图

        MFC 面板(点击放大)

         

        真空泵
        • 安装在移动架底部的机械泵,真空度达 10-3 Torr.
        • 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 .
        • 数字真空表安装在一端的法兰上.
        选择: 可以配分子泵,真空度达 10-5 Torr     
        作为基片用的25um厚的铜箔 
        (选配)

        生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)

         

        尺寸(mm)     炉体: 550 x 380 x 520
            移动架: 600x600x597
        净重     300 lb
        保修期     一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈,和加热元件等不在保修范围内)
        认证        CE 认证
        使用注意事项
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

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