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        产品详情
        • 产品名称: 1200°C三温区二通道混气高真空CVD系统--OTF-1200X-III-HVC
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 1552

            OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三温区管式炉,二路质子混气系统和高真空机组组成。其最高工作温度可达1200℃,极限真空度可达 10-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。


         

        技术参数

        OTF-1200X-III管式炉

        壳体结构

        炉管

        • 材质:高纯石英管
        • 石英管包含在内
        • 可以选择其他管径

        管堵放置位置

              

        功率

        7KW

        额定电压

        AC 208-240V 单相50/60Hz

        加热元件

        Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo(电阻丝表面涂有氧化锆涂层,最大程度的延长加热元件的使用寿命)

        工作温度

        • 最高工作温度:1200℃
        • 连续工作温度:1100

        升温速率

        升温速率: 1~20/min 可编程

        加热区长度

        总加热区:900mm (300mm + 300mm + 300mm)

        控温程序

        • 三个精密温度控制器分别控制三个温区
        • PID自动控制方式,可设置30段升降温程序
        • 控温精度: ±1
        • 热电偶 :采用K型热电偶进行测温

        真空密封

        • 一对不锈钢真空法兰,已经安装
        • 法兰上已安装机械压力表
        • 一对精密针阀
        •  KF-40抽气接口

        额定电压

        AC 208-240V 单相, 50/60Hz

        尺寸

        1100(L) x 450(W) x 670(H), mm

        高真空机组

        结构

        • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
        • 最大承重:  600 Lbs
        • 分子泵显示屏: LCD 数字显示
        • 壳体内安装有有一台德国制造分子泵

        抽气速率

        • N2   33 L/s
        • He   39 L/s   (2340L/minute)
        • H2   32 L/s

        工作范围

        From 1000 mbar to <1E-7 mbar

        极限

        <1E-8 mbar (无泄漏) 

        电压&功率

        110VAC~ 220VAC, 110W

        质量流量控制系统

        壳体结构

        • 2~9通道气体采用PLC触摸屏控制和PC操作软件
        • LED 显示
        • 4通道MFC采用316不锈钢制作,气体流量如下

        通道1: 0~100SCCM

        通道 2: 1~199 SCCM

        通道 3: 1~199 SCCM

        通道4: 1~499 SCCM

        • 4个通道的气体经过气体混合罐尺寸: 600(L) x 745(W) x 700(H), mm

        功率

        18W

        额定电压

        AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

        开门断电

        为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
          
          

        质保期

        一年质保期,相关耗材除外,如炉管密封圈加热元件等易耗件

        质量认证

        使用注意事项

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

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