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        产品详情
        • 产品名称: 1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统-OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE
        • 产品提示: 图片及参数仅供参考,详情请致电公司销售。
        • 产品型号: OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE
        • 浏览次数: 187

            OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE是一款1200℃等离子增强双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源(带自动匹配功能)、双温区管式炉、4通道质子流量计控制系统、性能优异的真空泵以及水冷机组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的改性处理工艺中(如:粉体掺杂(空穴、间隙原子)、表面改性、表面包覆、制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。

         

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        技术参数

         

        结构特点

         

         炉体可在0 ~ 30°内倾斜有利于粉末样品的装入和取出

         

         300W射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度

         

         齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性

         

         4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控

         

        工作电源

         

         AC208-220V,50/60Hz

         

         总功率:4KW

         

        双温区回转炉

         

         最高温度:1100ºC(< 2h) 连续工作温度:1000℃

         

         两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统

         

         输入功率:208-240V,单相,功率:1.5KW

         

         加热区长度:200mm,两温区,每个温区:100mm

         

         回转炉旋转速度:0-5 rpm

         

         炉体可倾斜角度:0-30

         

         炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管

         

        等离子射频电源

         

         

         输出功率:5-300W可调(稳定性:±1%

         

         射频频率:13.56MHz(稳定性:±0.005%)

         

         最大反射功率:100W

         

         匹配:自动匹配

         

         射频输出端口:50ΩN

         

         噪音:<50dB

         

         冷却: 空气冷却

         

         电源: 110 -240VAC, 50/60Hz

         

        石英管

         

         高纯异形石英管

         

         尺寸:φ50mm*1100mm L

         

         回转部分φ60mm x 170mm L

         

        密封法兰
          

         

         一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头)

         

         磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用,避免卷绕

         

            

            图1.左端法兰           图2.右端法兰

         

        真空泵

         

         双级真空泵包含在设备中,请点击图片了解详细参数

         

         KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵

         

         

        4通道质子流量计控制系统

         

         4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%

         

         流量范围:

         

        一路: 0~100 SCCM

         

        二路: 0~200 SCCM

         

        三路: 1~200 SCCM

         

        四路: 1~500 SCCM

         

         电压:208-240V AC 50/60Hz

         

         气体进出口配件:6mmOD的聚四氟管或不锈钢管

         

         不锈钢针阀用于手动控制气体进出

         

         PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

         

        循环水冷机

        标配KJ-5000循环水冷机,水流速率:16L/min

         

        尺寸和重量

         

         1400mm L x 600mm W x 1240mm H

         

         净重:90kg

         

         

        质保期

         一年质保期,终生维护(石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外)

        质量认证

         

         CE认证

         

         所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

         

         如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)CSA 认证    

         

        使用注意事项

        点击此处学习如何安装减压阀

         

         炉管内气压不可高于0.02MPa

         

         由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀

         

         当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

         

         进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

         

         石英管的长时间使用温度<1100℃

         

         对于样品加热的实验,使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

         

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