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        产品详情
        • 产品名称: 卷对卷石墨烯制备管式炉系统-OTF-1200X-II-PE-RR
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: OTF-1200X-II-PE-RR
        • 浏览次数: 278

                OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置、500W等离子源、1200℃双温区管式炉、三路质子流量计控制系统、真空机组5部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。

         

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        1200℃双温区管式炉

         

         

         工作电源:AC220V50/60Hz

         

         功率:3KW

         

         加热元件:电阻丝

         

         最高温度:1200℃ (使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)

         

         长期使用温度:1100℃

         

         推荐升温速率:≤ 20℃ /min

         

         炉管:高纯石英管:φ80*1400mm

         

         总加热区长度:400mm

         

         恒温区长度:200mm

         

         PID控温,具有超温及断偶保护

         

         控温精度:±1℃

         

        500W等离子源

         

         

         输出功率:50-500W最大可调±1%

         

         RF频率: 13.56MHz,稳定性±0.005%

         

         噪声:≤55DB

         

         冷却:风冷

         

         输入功率:1KW  AC 220V

         

        三路质子流量计控制系统

         

         

         电压:AC220V/50Hz

         

         功率:23W

         

         PLC触摸屏控制

         

         混气罐尺寸:φ80*120mm

         

         工作温度:5~45 ºC

         

         最大压力: 3x106 Pa

         

         精度: ±1.5% FS

         

         线性: ±0.5-1.5%F.S.

         

         重复精度: ±0.2%F.S.

         

         流量范围:

        一路: 1~50 SCCM (甲烷标定)

        二路: 1~200 SCCM (氢气标定)

        三路: 1~200 SCCM (氩气标定)
        气体种类标定根据客户要求可以进行其它选择

         

        真空测量单元

         

         

         型号:PGC-554-LD

         

         显示范围:3.8E-5 to 1125 Torr

         

         精度:

        5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 

        1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 

        100 … 950 mbar % of reading ±5 

        950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

         

        低真空机组(标配)

         

         

         由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器(PE材质)、电阻真空计以及连接管道接头等组成

         

         真空泵抽气速率≥4.4L/s

         

         极限真空度10-1Pa

         

         真空计测量范围10-1Pa-105 Pa

         

        压力恒定控制系统(选配)  

        压力恒定控制范围(进气气氛为氩气)

        760mtorr100Pa-----225torr30000Pa)(按照进气量为500sccm

        600mtorr80Pa-----200torr26660Pa)(按照进气量为300sccm

        300mtorr40Pa-----185torr24660Pa)(按照进气量为100sccm

        180mtorr24Pa-----100torr13333Pa)(按照进气量为50sccm

        压力恒定控制精度:180mtorr-----2.5torr±%10

                          >2.5torr-----10torr±%40

                          >10 torr------200torr±%5

        卷对卷铜箔收放密封装置

         

         

         采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料,铜箔的移动速度为1-400mm/min可调;

         

         配置一卷约5公斤重的铜箔,铜箔宽度:65mm,铜箔厚度0.025mm

         

         收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内,保证铜箔可在密封生长条件下进行运动,实现大规模制备

         

         收卷机构与管式炉之间设置冷却装置用于铜箔的快速冷却

         

        石英气体喷嘴

        可选配石英气体喷嘴,将反应气体与缓冲清洗气体分开通入,可有效减少副反应发生,实现高端CVD工艺,如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺(ALC CVD)或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。

        产品认证

         电器元件可选择通过CE认证

        产品尺寸

         2400*600*1250mm

        产品重量

         260kg

        质保期

         一年保质期,终生维护

        免责声明:

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