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        产品详情
        • 产品名称: 500W等离子刻蚀清洗机-PCE-500W
        • 产品提示: 图片及参数仅供参考,详情请致电公司销售。
        • 产品型号: PCE-500W
        • 浏览次数: 274

            PCE-500W是一款较大型的500W等离子刻蚀清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 14.4"L的石英腔体,采用的射频电源频率为13.56MH,功率0 -500W连续可调节。此款设备功率高,可用于等离子刻蚀、等离子灰化、表面改性以及材料掺杂改性等应用,对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

         

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        技术参数

        名称

        500W等离子刻蚀清洗机-PCE-500W

        主要参数

         

         射频功率:0-500W

         

         总功率:1.5KW

         

         电源:AC220V 50/60Hz

         

        射频电源

         

         射频功率可在0-500W之间调节

         

         频率:13.56MHz

         

        注:可与本公司工作人员联系选购1KW高功率等离子刻蚀清洗机

         

        等离子腔体

         

         8.5" O.D x 8.2" I.D x 14.4" L 高纯石英腔体

         

         铝制折叠式法兰来进行真空密封

         

         法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

         

         此设备完全屏蔽射频辐射,零射频泄漏

         

        控制面板

         

         通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等

         

         仪器内部安装有一0 - 100ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

         

        真空泵(选配)

         

         仪器必须使用抽气速率大于4L/S的真空泵

         

         极限真空度为50mTorr参考值,具体请点击

          

         

        通入气体

         

         等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, AirH2O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

         

         不能使用易燃气体及腐蚀性气体。

         

        可选

         

         可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片

         

         可选购2-4通道质子或浮子混气系统   

             

         

        产品尺寸

        600mm L×600mm W×810mm H

          

         

        质量认证

        CE认证

        质保期

         

         一年保质期,终生维护

         

         特别提示:

         

        1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

         

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        相关应用

         

         请自行根据您的应用测试最佳的等离子功率

         

         对于等离子清洗,根据工艺,通常保持射频功率在10 -100W之间

         

         对于等离子刻蚀,根据工艺,通常保持射频功率在300-500W之间

         

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