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        产品详情
        • 产品名称: 2通道ALD控制单元-ALD-GSL-4
        • 产品提示: 图片及参数仅供参考,详情请致电公司销售。
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 269

           ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统,包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送,可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY,组建一套ALD系统,用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。

         

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        技术参数

        工作电压&功率

        AC220V 单相 50/60Hz  100W

         

         

         

        PLC触摸屏 

         

         

        通过6PLC触摸屏对ALD蒸汽脉冲时间、气体流量等参数进行设定控制

         

        可控制2个ALD阀门的脉冲时间以及循环次数(毫秒级)

         

        可控制4通道的气体流量(4通道质子流量计,精度±0.2%F.S)

         

        真空压力显示

         

        请点击左图查看控制界面

         

        RS485 通讯接口和PC软件可以连接到电脑上,进行远程控制 

         

         

         

         

         

        ALD进气阀

         

        对于两种前驱体气体的沉积,需2个ALD进气阀进行控制(不包含在设备中)

         

        客户可使用自己已有的ALD阀或点击下图选购本公司ALD阀

         

         

         

         

         

         

         

        流量控制

         

        四通道质子流量计控制系统可用于4路气体的通入和混合

          流量范围:

          一路: 0~100 SCCM

          二路: 1~199 SCCM

          三路: 1~199 SCCM

          四路: 1~499 SCCM

         

        注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

         

        工作温度:5~45ºC  耐压:3MPa  

         

        精度: ±1.5% FS  线性: ±1%F.S.重复精度: ±0.2%F.S.

         

         

         

         

        通气管道
            

         

        内置不锈钢混气罐

         

        内部连接管道为1/4”不锈钢管

         

        外部通气管道为1/4”聚四氟管

         

        混气罐

         Φ80X120mm

        截止阀及配件

         316不锈钢针阀   Φ1/4” 不锈钢管

        尺寸

         600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

        质量认证

         CE认证

        质保期

         一年保质期,终生维护

         

         

         

        可选配件

         

        可选购气液混合装置用于蒸汽的通入,点击下图查看详情

         

        客户可另外付费由本公司对ALD控制单元以及管式炉系统进行连接组装。

               

         

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