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        产品详情
        • 产品名称: 反射光谱薄膜测厚仪--TFMS-LD
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号: TFMS-LD
        • 浏览次数: 872

            TFMS-LD是一款反射光谱薄膜测厚仪,可快速精确地测量透明或半透明薄膜的厚度,其测量膜厚范围为15nm-50um,仪器所发出测试光的波长范围为400nm-1100nm。此款测试系统理论基础为镜面反射率,并且采用光纤反射探头。仪器尺寸小巧,方便于在实验室中摆放和使用。

         

        操作视频


         

        技术参数

        测量膜厚范围

        15nm-50um

        光谱波长

        400 nm - 1100 nm

        主要测量透明或半透明薄膜厚度

        • 氧化物
        • 氮化物
        • 光刻胶
        • 半导体(硅,单晶硅,多晶硅等)
        • 半导体化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等)
        • 硬涂层(碳化硅,类金刚石炭)
        • 聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)
        • 金属膜(点击图片可查看详细资料)
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        特点

        • 测量和数据分析同时进行,可测量单层膜,多层膜,无基底和非均匀膜
        • 包含了500多种材料的光学常数,新材料参数也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
        • 体积较小,方便摆放和操作
        • 可测量薄膜厚度,材料光学常数和表面粗糙度
        • 使用电脑操作,界面中点击,即可进行测量和分析

        精度

        0.01nm或0.01%

        准确度

        0.2%或1nm

        稳定性

        0.02nm或0.02%

        光斑尺寸

        标准3mm,可以小至3um

        要求样品大小

        大于1mm

        分光仪/检测器

        • 400 - 1100 nm 波长范围
        • 光谱分辨率: < 1 nm
        • 电源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W

        光源

        • 5W的钨卤素灯
        • 色温:2800K
        • 使用寿命:1000小时

        反射探针

        • 光学纤维探针,400um纤维芯
        • 配有分光仪和光源支架

        载样台

        测量时用于放置测量的样品
         

        通讯接口

        USB接口,方便与电脑对接

        TFCompanion软件

        • 强大的数据库包含500多种材料的光学常数(n:折射率,K:消失系数)
        • 误差分析和模拟系统,保证在不同环境下对样品测量的准确性
        • 可分析简单和复杂的膜系

        设备尺寸

        200x250x100mm

        重量

        4.5kg

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