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        产品详情
        • 产品名称: 坩埚(样品台)可移动型1200℃管式炉--OTF-1200X-S-HPCVD
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 948

              OTF-1200X-S-HPCVD是一款坩埚可炉管内移动(靠步进电机控制)的小型开启式管式炉。炉管直径为50mm,设备最高工作温度为1200℃。
              设备特点:坩埚通过一步进电机控制炉管,按照设定程序移动,同时坩埚后端安装一热电偶(随坩埚仪器移动),可实时监测样品的温度,意味着可通过移动坩埚的位置,在炉体中准确找到实验所需要的温度,使得实验准确度更高,重复性更强。此款设备可用于多种实验,比如HPCVD(hybrid physical chemical deposition),快速热蒸发,也可用于水平布里奇曼(Bridgman)法来长晶体。(更新时间:2018.6.12 — XI)

         

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        技术参数

        高温炉部分

        • 炉体设计为开启式,以便于更换炉管
        • 工作电源:208 - 240 VAC, 50/60Hz
        • 最大功率为:2KW
        • 最高工作温度:1200℃(<1hr)
        • 连续工作温度:1100℃
        • 加热区长度:200mm
        • 炉管:高纯石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x 450mm L)(点击图片查看详细资料)
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        温度控制系统

        • 采用PID30段程序化控温,其控温精度为+/-1℃
        • 控温仪表操作视频
        • 设有过热和断偶保护
        • 热电偶采用K型热电偶
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        真空密封

        • 采用KF结构密封法兰,硅胶密封圈密封
        • 法兰上安装有一机械压力表
        • 右端法兰与一个真空不锈钢波纹管连接(不锈钢波纹管最大伸缩幅度为150mm)
        • 真空度:10-2Torr(用机械泵抽)  10-5Torr(用分子泵抽)

        坩埚移动机构&PLC控制

        • 一个直径为1/4"的欧米伽铠装热电偶(K型),通过法兰伸入到炉管中,并可随坩埚移动,可实时监测样品的实际温度。
        • 通过步进电机移动炉管内的坩埚(样品台),最大行程为100mm,移动精度为1mm
        • 通过触摸屏设定坩埚一定的距离和目标位置,坩埚移动速度为180mm/min(更精确的移动速度,可与本公司联系定制,需额外收费)
        • 可观察下图,了解坩埚与热电偶的安装方法
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        最大加热速率和冷却速率

        可通过移动样品到已预加热的炉体中来得到最大的加热速率,也可将样品迅速移除高温的炉体,来得到最大的降温速率

        最大加热速率

        10/sec (150 - 250);
        7/sec (250 - 350);
        4/sec (350 - 500);
        3/sec (500 - 550);
        2/sec (550 - 650);
        1/sec (650 - 800);
        0.5/sec (800 - 1000);

        最大降温速率

        10/sec (950 - 900);
        7/sec (900 - 850);
        4/sec (850 - 750);
        2/sec (750 - 600);
        1.5/sec (600 - 500);
        1/sec (500 - 400);
        0.5/sec (400 - 300);

         

        可选配件

        • 可选购手动挡板阀(图1)
        • 防腐型数显真空计(图4)
        • 快速连接法兰,以方便于放置样品(图2)
        • 多路质量流量计控制的混气系统,用于CVD和DVD实验(图5)
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        石英气体喷嘴

        可选配石英气体喷嘴,将反应气体与缓冲清洗气体分开通入,可有效减少副反应发生,实现高端CVD工艺,如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺(ALC CVD)或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。

         

         

        尺寸

             

        质保

        一年质保期,终生维护(不含加热元件、炉管和密封圈)

        质量认证

        注意事项

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

        应用

        • 此款设备可用于多种实验,以下列出了几种实验方法
        • RTE(快速热蒸发):蒸发料放在坩埚中,放入到炉体中心,基片放在样品台上,样品台与热电偶相连接,然后将样品台移动到理想的位置(此位置温度是实验所需要的温度)
        • HPCVD(混合物理化学沉积):与RTE相似,但需配混气系统,对反应气体混合并控制流量,同时也需设定蒸发料的位置(确定蒸发料的蒸发温度)
        • 水平布里奇曼(Bridgman)法来长晶体:将样品和籽晶放入到坩埚中,并将坩埚放入到炉体中心位置,然后设定坩埚移动速度,慢慢移动坩埚
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