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        产品详情
        • 产品名称: 3”等离子清洗机--PDC-36G
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号: PD-C-36G
        • 浏览次数: 332

               PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下,去除速率最大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理,对生长具有显著的作用 

         

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        技术参数

         

        名称

        3"等离子清洗机--PDC-36G

         

         

        视频

                         操作视频

         

         

         

         

         

         

         

        主要特点

         

         

        ·结构紧凑、小型化的桌上型仪器

         

        ·用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物

         

        ·在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀质量可以更好

         

        ·铰链式门,方便装样

         

        ·石英腔的直径是3英寸,在里面可以放入一个石英舟,最大清洗一个2英寸的基片

         

        ·清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更换

         

        ·使用可调射频电源可以设置功率为低、中、高级别;低成本、操作安全

         

         

         

         

         

         

         

        主要参数

         

        ·低功率设定:直流680V,10mA,6.8W

         

        ·中功率设定:直流700V,15mA,10.5W

         

        ·高功率设定:直流720V,25mA,18W

         

        ·射频源输出频率:13.56MHz

         

        ·等离子直流电源

         

        ·输入电压:220V,50Hz

         

         

         

        等离子腔室

         

        ·直径75mmx长200mm的石英墙体,前盖可以开启

         

        ·高纯度石英腔体,使用寿命比玻璃长

         

        真空计

        设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。

         

         

         

         

         

        可选配件

         

        ·您可以订购额外的石英腔体,用于备用

         

        ·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PDC-36G等离子清洗机可以2路混气系统组合(点击下面第一张图片了解详情)

         

        ·您可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片

         

            

         

         

        真空泵和阀

         

        ·此设备不包含真空泵

         

        ·您可以点击下方图片了解真空泵信息

          

         

         

         

         

        工作气体

         

        ·多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。

         

        ·可以使用<4%的H2混合惰性气体

         

        ·警示:不能使用可燃性及腐蚀性气体

         

         

         

         

         

         

        等离子清洗刻蚀的方法

         

        外形尺寸

        353mmLx380mmWx225mm H

        净重

        8kg(不含泵)

        认证

        CE认证

         

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。

         

        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        点击查看售后服务承诺书。

         

        工作原理

        等离子清洗机工作原理

         

         

        免责声明

         

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