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        产品详情
        • 产品名称: 小型三靶等离子溅射仪--VTC-16-3HD
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: VTC--16-3HD
        • 浏览次数: 2335

                 VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪(直流普通型),基片最大尺寸2英寸,加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台,可以依次在同一样品上涂覆三种材料,金靶,银,铜, 它可以与真空泵,不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用。

         
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        技术参数 

        设备名称

        3靶等离子溅射仪-VTC-16-3HD 

         

         

         

        视频

               操作视频

         

         

         

         

         

         

        主要参数

         

        输入电源:220V 通用  功率:1KW   

         

        工作电流: 溅射电流:0-50 mA可调

         

        单次工作时间:0-5分钟可调

         

        靶头数目:3个

         

        输出电压:1600V DC

         

        样品台加热温度:500℃(选配)

         

         

         

        溅射腔体

         

        l采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

         

        l密封:O形密封圈密封

         

         

        样品台

         

        l一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片,可以电动控制移动三个位置

         

        l溅射距离:25 - 40毫米可调

         

        l可选购加热型样品台(最高温度可到500℃)

         

        lPID控制器控温精度+/- 1℃(已集成到触摸屏上)

         

        控制面板

         

        l控制面板为PLC,4.3" 触摸屏

         

        l一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度

         

         

         

         

         

         

        真空泵(选配)

         

        l用机械泵真空度达 50 mtorr仅供参考,详情请点击

         

        l用分子泵真空度可达 10-4 torr仅供参考,详情请点击

         

        进气口

        一个精密可调针阀安装在进气口,以实现方便的调节进气量

         

         

         

         

        靶材

         

         

        l要求安装靶材的尺寸:直径Φ47mm,厚度0.5-3mm

         

        l可在本公司选购靶材,具体请点击链接

         

         

        外形尺寸

         

        460mm×330mm×540mm (L×W×H)

         

        净重:50KG(不包括泵)

         

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


        点击查看售后服务承诺书。

         

        质量认证

        认证

         

         

         

        各种靶材的参数(仅供参考)

         

        对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是本公司实验所设置的参数仅供参考,详情请点击

         

        靶材种类

        真空度(Pa)

        溅射电流(mA)

        时间(s)

        溅射次数

        Au

        31-33

        28-30

        100

        1

        Ag

        31

        28

        100

        1

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        使用注意事项

         

        l由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节

         

        l有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜

         

        l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)

         

        l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

         

        l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

         

        l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。

         

        l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物

         

        l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力

                   
         超声波清洗机      等离子清洗机   大功率磁控溅射仪         蒸镀仪         手套箱

         

         

         

         

        警告

         

        l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体

         

        l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用

         

        l溅射头连接到高电压。为了安全操作者必须关闭设备前装样和更换靶

         

         

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