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        产品详情
        • 产品名称: SOI薄膜(Si+SiO2+Si)
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 259

        产品名称:

        SOI基片(Si+SiO2+Si)

        常规尺寸

        dia4" 镀膜层:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped

         

        技术参数:

        国产SOI:膜层厚度可以按照客户需求加工

        ①顶层2um±0.5(5点), BOX层2um±0.1 ,  P型,总厚度大约621um, 平整度LTV < 1um

        ②顶层3um±0.5(5点), BOX层2um±0.1,P型,总厚度大约622um, 平整度LTV < 1um

        电阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm

        进口SOI:

        点击查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx

         

        常规尺寸:

        SOI

        φ6″100>/<110>镀2umSiO2层镀2umSi层-1sp

        SOI

        φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀0.2umSi层-1sp

        SOI

        φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

        SOI

        φ6″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

        SOI

        φ6″-<100>镀0.375umSiO2层镀0.1umSi层-1sp

        SOI

        φ6″-<100>镀3umSiO2层镀220nmSi层-1sp

         

        备注:

        1000级超净室100级超净袋单片盒或25片插盒封装

         

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