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        产品详情
        • 产品名称: AlN单晶
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        • 产品型号:
        • 浏览次数: 178

         

        产品名称:

        AlN单晶

        技术参数:

        厚度:

        450±50μm

        吸收系数:

        <80 cm-1

        蚀坑密度(EPD):

        <1E5 cm-2

        可用区域:

        > 80

        边缘排除:

        1.0毫米

        位错密度

        <1E5 cm-2     

         

        产品规格:

        晶向:

        c平面(0001±1°

        尺寸:

        10x10毫米

        表面抛光:

        Al面:CMP抛光(RMS <0.8nm);

        N面:光学抛光(RMS <3nm);

        XRD摇摆曲线(光斑尺寸10×1mm2):

        FWHM002):<0.3°

        FWHM102):<0.5°

         

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