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        产品详情
        • 产品名称: 1200℃5英寸三温区等离子增强R-PECVD粉体回转炉系统(包含4通道质子混气系统、带自动进出料系统)-OTF-1200X-III-R5-PECVD
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: OTF-1200X-III-R5-PECVD
        • 浏览次数: 210

            OTF-1200X-III-R5-PECVD是一款1200℃等离子增强化学气相沉积三温区回转管式炉系统(R-PECVD),等离子增强系统的引入可在相对较低的温度下实现粉末表面的包覆复合、核壳结构制备等工艺过程。自动进出料系统可实现连续生产,可保证在气氛保护环境下进行粉体的进给以及收集,包含射频电源(带自动匹配功能)、4通道质子流量计控制系统以及真空泵系统,可由PLC触摸屏或者PC电脑控制,使用方便快捷。

         

         

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        技术参数

        结构特点
         

         

        ·炉体可在0 ~ 25°内倾斜有利于粉末样品的装卸

         

        ·300W射频电源(13.56MHz)可实现等离子增强从而显著降低实验温度

         

        ·齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性

         

        ·4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控

         

        ·配备自动进出料系统可实现连续生产,可保证在气氛保护环境下进行粉

        体的进给以及收集

         

        温区回转炉

         

         

        ·最高温度:1200ºC(< 1h) 连续工作温度:1100℃

         

        ·三个PID温度控制器以及30段可编程温控系统,控温精度:±0.1℃


        ·输入功率:208-240V,单相,最大功率:4KW


        ·高纯氧化铝纤维保温层可以最大限度降低能耗


        ·回转炉旋转速度:2-10rpm


        ·炉体开启式设计,以达到对样品快速降温,方便更换炉管

         

        ·三温区:152mm+304mm+152mm,总温区长度为609mm

         

        ·恒温区长度:480mm(三温区设置为同样温度时,±2℃)

         

        等离子射频电源

         

         

        ·输出功率:5-300W可调(稳定性:±1%)

         

        ·射频频率:13.56MHz(稳定性:±0.005%)

         

        ·最大反射功率:100W

         

        ·匹配:自动匹配

         

        ·射频输出端口:50Ω、N型

         

        ·噪音:<50dB

         

        ·冷却: 空气冷却

         

        ·电源: 208 -240VAC, 50/60Hz

         

        石英管

         

        ·标准5英寸高纯异形石英管

         

        ·两端直径为60mm,中间直径为127mm

         

        密封法兰


          

         

        ·一对不锈钢快接法兰(法兰上安装有KF25真空接头)

         

        ·磁流体密封旋转接头安装在两端保证旋转过程中进气管和其它附件的正常使用,避免卷绕

            

         

        旋转速度

        ·2-10rpm可调

        炉体可倾斜角度

        ·0~30°

        真空泵及真空表

         

         

        ·EQ-YTP-550双级真空泵包含在设备中,请点击图片了解详细参数

         

        ·KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵

         

        ·真空度可达10-2Torr

         

        注:可选购防腐型数显真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氢气等其他气体氛围下的真空度测量

         

        4通道质子流量计控制系统

          

         

        ·4通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%)

         

        ·流量范围:

            一路: 0~100 SCCM

            二路: 0~200 SCCM

            三路: 1~200 SCCM

        四路: 1~500 SCCM

         

        ·电压:208-240V AC 50/60Hz

         

        ·气体进出口配件:6mmOD的聚四氟管或不锈钢管

         

        ·不锈钢针阀用于手动控制气体进出

         

        ·PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置

         

        容积式进料器

         

         

        ·EQ-PF-1S是一款容积式自动喂料器,包含一电动搅拌器以及带有振动装置的不锈钢料斗。可实现固体粉料的自动化喂料,从而实现固态粉料的连续式烧结/热处理

         

        ·2L不锈钢收集桶安装在右侧,可实现真空气氛保护环境下的粉料样品收集(标配中包含)

         

        温度控制

         

         

        ·配备Microsoft Window 10系统电脑,可直接用于实验

         

        ·可使用软件对温度、气体进气量、等离子电源功率等参数进行设置

            

         

        尺寸和重量

         

        ·2800mm L x 800mm W x 1700mm H,供气系统:600mmL x 700mm W x 700mm H

         

        ·净重:180kg

         

        质保期

        一年质保期,终生维护(石英管、O型密封圈、加热元件等耗材除外)

        质量认证

         

        ·CE认证

         

        ·所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

         

        ·如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证


         

        使用注意事项

         


         

         

        ·炉管内气压不可高于0.02MPa

         

        ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀

         

        ·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

         

        ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

         

        ·石英管的长时间使用温度<1100℃

         

        ·对于样品加热的实验,使用时不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

         

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