HVHP-50是一款高真空的加热台,其直径为2英寸(50.8mm).此产品设置主要是用作为加热样品台,可选择最高温度为800℃或1000℃。用于DIY各种溅射仪或蒸镀设备等等。
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技术参数
加热元件 & 输入功率
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·可选购2种加热元件
·FeCrAl 合金丝: 最高温度800ºC ,功率400W
·钼丝:最高温度1000ºC ,功率 800W ( 必须在真空或惰性气体保护环境下使用,不适用于CVD/ALD等相关应用中)
·输入电压: 0 - 35 VAC ,50/60Hz
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加热台
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·储存: 78 mm OD x 85 mm H + .支撑杆 ( Φ10 mm x 62 mm L )
·加热均匀区:Φ51 mm (+/- 5ºC)
·加热速率: 5ºC/min
·热电偶: K 型
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温控器
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·可选购SCR温度控制器
·30 段升降温程序
·PID 方式调节温度
·控温精度:+/-1℃
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尺寸
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重量
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·1kg
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质保期
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·一年质保期,终身维护
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应用
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·可用与DIY各种设备,如下图

蒸镀仪 冷壁CVD CSS炉 磁控溅射仪 ALD系统
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使用注意事项
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·选用钼丝作为加热元件时,必须在真空或惰性气体保护环境下使用,不适用于CVD/ALD等相关实验中,以免反应气体损坏钼丝
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