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        产品详情
        • 产品名称: 1100℃电动开启式三温区管式炉(15英寸石英炉管)OTF-1100X-15-III
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,详情请致电销售热线
        • 产品型号: OTF-1100X-15-III
        • 浏览次数: 178

            OTF-1100X-15-III是一款通过CE认证的三温区管式炉,采用15英寸石英炉管及不锈钢密封法兰(安装有不锈钢截止阀和机械压力表)。炉体设计为电动开启式。三个温区独立控制,可设置30段升降温曲线,带有超温和短偶保护,控温精度为+/-0.5 ºC此款设备广泛应用于各种材料在真空或气氛保护环境下的热处理。(更新时间:2018.11.5 — JS,QK)

         

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         技术参数

        型号

        OTF-1100X-15-III

        炉体结构

         

         

         双层壳体结构,并带有风冷系统,壳体表面温度< 70°C.

         

         采用氧化铝纤维作为炉膛材料

         

         加热元件:SiC棒

         

         设备中配有2个氧化铝管堵,以保证炉膛内部温度均匀性(炉体加热前,管堵必须塞入到炉管内部)

         

         此管式炉可作为退火或扩散管式炉(6英寸或8英寸晶片可用特殊石英支架装载)

         

         电动开启式设计,使得用户操作更加简便

         

        结构图

        氧化铝管堵

        晶片装载

        电动开启

         

        加热区

         

         总加热区长度1000mm

         

         三个加热区: 330 mm + 330 mm + 330mm (12" per zone)

         

        工作温度

         

         最高工作温度1100℃

         

         最高加热速率:10℃/min

         

         加热元件:SiC棒(36根)

         

        温控系统: 控温精度为+/-0.5℃

        炉管

         

         15英寸高纯石英炉管:尺寸:400mm OD. x 388mm ID.  x 1860mm L

         

         注意:石英炉管易碎,操作需谨慎

         

         

        真空密封&法兰

         

         一对不锈钢真空密封法兰(铰链式),4个硅胶密封圈,可使炉管内真空度达到10^-3torr(采用机械泵抽真空)

         

         左端法兰:安装有不锈钢针阀,Φ6.35的进气口

         

         右端法兰:KF40真空泵接口Φ6.35铠装接口(用于热偶插入到炉管内,测量炉管内温度和进行温度校准)

         

        可选

         

         此管式炉需定期校准,以保证温度的准确性和均匀性,我们可提供简单的校准工具

         

                      ·1根1200mm的K型铠装热偶

         

                      ·1个Omega温度校准仪表

         

                      ·此型号管式炉只可选用机械泵,且最低真空度只能够抽到-0.05MPa,否则可能造成炉管损伤

         

                      ·4'' ~ 8'' 晶片石英支架

         

         可与手套箱系统联用,实现氧敏感性材料的烧结制备

                    

         

        电压

         三相380V,50/60 Hz

        额定功率

         20KW

        产品尺寸

         2300L x 1500W x 1400 H mm

         

        净重

         300kg

        质保期

         一年质保期,终身维护(不包含炉管,加热元件和密封圈)

        质量认证

         CE认证

         所有电器元件(输入电源大于24V)都通过了UL/MET/CSA

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