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        产品详情
        • 产品名称: 小型程序控温蒸发镀膜仪--GSL-1700X-SPC-2
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: GSL-1700X-SPC-2
        • 浏览次数: 3131

           GSL-1700X-SPC-2是一款小型台式程序控温蒸发镀膜仪,可以设定程序,精确控制温度200ºC~1500ºC(或者1200ºC~1700ºC),最大可蒸镀直径2英寸薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

         

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         技术参数

        名称

        小型程序控温蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2

         

         

         

        视频

              操作视频

         

         

         

         

         

        结构&特点

         

        ·真空腔体为直径6英寸的石英腔体,便于清洁和放入样品


        ·安装有一个2英寸的样品台,并且样品台可以旋转,使所制薄膜更加均匀


        ·采用钨丝篮作为发热源,最高温度可达到1500℃,并且配用专用氧化铝舟,可装入样品


        ·精确控温:可设置30段升降温程序,控温精度为+/-1℃

         

        ·气体流量端口和阀门内置用于腔室净化和CVD可能性

         

         

         

        基本参数

         

        温度最高1500℃ 1200℃以上<1h   建议升温速率20℃/ min (需根据工艺调整)

            

        热偶B型或者S型热偶     电源:AC220V,50Hz   最大6KW

         

         

         

         

         

         

         

        温控及加热源

         

         

        ·采用钨丝篮作为发热源,并且配有专用的氧化铝坩埚,热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制(如图1)

         

        ·采用S型热工作温度为200℃-1500℃

         

        ·可选B型热电偶工作温度为1200℃-1700℃

         

        ·安装有一个数显的温度控制器:可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1ºC(如图2)

         

        ·温度控制器的时间设置以秒为单位建议将升温/降温速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s(20ºC/ min),在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s(10ºC/min)

         

        ·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚(如图4图5

               
                      图1                       图2               图3           图4              图5

         

         

        样品台

         

         

        ·仪器顶部安装有样品台,直径为Φ50mm,并设置有挡板,方便控制蒸发镀膜时间

         

        ·样品台可旋转,增加镀膜均匀性

         

        ·样品台和蒸发源之间的距离可以调节,调节范围为:40mm-85mm

         

         

         

        进气口

         

        ·进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜

         

        ·进气口安装有一针阀,用于调节进气流量

         

         

         

         

         

         

        可选

         

        ·程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪-GSL-1700X-EV4(图一)

         

        ·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚,并用户可额外选购钨丝篮及氧化铝坩埚(图二图三

                   图一          图二              图三

         

         

         

        真空计(可选)

        可选购一数显防腐真空计,测量范围为:3.8x10-5-1125Torr

         

         

         

         

         

         

         

        膜厚检测仪(可选)

         

        ·可在本公司选购精密的石英振动薄膜测厚仪安装在溅射仪上可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å  (图一)

         

        ·LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据(图二)

         

        ·同时可选购反射光谱薄膜测厚仪--TFMS-LD(图三)

           
              图一               图二               图三

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        真空系统(选配)

         

        ·设备上有一KF25接口用于连接真空泵

         

        ·采用涡旋分子泵真空可达1.0E-5Torr,极限真空度可达4.0E-6Torr

         

        ·双极旋片真空泵或干泵,可使仪器真空腔体的真空度达到10-2Torr

         

        ·真空度达到10-2torr时,可蒸发一些贵金属,参考材料金和铂,也可蒸发一些有机材料,可选购数显防腐真空计PCG-554(测量范围3.8x10-5 to 1125 Torr.)

         

        ·高真空度可达1.0E-5Torr(采用涡旋分子泵),此时可蒸发对氧敏感的材料,参考材料Al. Mg, Li,分子泵上带有复合真空计(最高可测量真空度为1.0E-7Torr)

         

        ·可在本公司选购各种真空泵和真空计

        ·可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染

         

         

         

        外形尺寸

        490mm*330mm*560mm

         

         

         

         

         

        质量认证

        ·所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


        点击查看售后服务承诺书

         

         

         

         

         

         

         

         

        使用提示

         

        ·为了获得高真空度,可采用以下做法

         

        (1)使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕,并用酒精擦洗

         

        (2)抽真空时,用外部加热装置将腔体烘烤到200℃,氧化铝坩埚预加热到500℃,保持2小时

         

        ·此款蒸镀仪可以放入到手套箱里操作,用于蒸镀一些在常温下对氧气敏感的材料,比如金属Li等可在本公司选购开启式手套箱VGB-6(点击下图查看详情)

           

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        使用注意事项

         

        ·使用温度高于1300℃时,保温时间不可大于1小时,否则会损坏密封圈

         

        ·当腔体的各阀门关闭时,请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热

         

        ·当仪器正在蒸发材料时,不可打开泄气阀或关闭真空泵,只有当加热温度降至100℃时,才可放气或关闭真空泵

         

        ·蒸镀电流不宜大于40A

         

        ·如误将控温仪表设为手动状态,程序将不能正常运行

         

        ·此设备仪表程序为秒,200℃之前升温速度不宜大于0.5℃/S

         

        如果用户选购了STC-2型薄膜测厚仪,在选用取样片时请按:镀纯金属时用金取样片,镀合金时用银取样片

         

        ·钨丝篮必须在真空状态下(<5Pa才能通电加热,否则会被氧化)

         

         

         

        免责声明

         

        本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

         

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