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        产品详情
        • 产品名称: 小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: TCVD--OTF-1200X-S2-50SL
        • 浏览次数: 587

              OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。
                         

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        技术参数

        名称

        1200℃小型双炉体滑动管式炉-TCVD--OTF-1200X-S2-50SL  

         

         

         

         

         

         

        炉体结构

         

        ·采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃参考值,详情请点击

         

        ·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命) 

         

        ·可选购石英管堵及石英坩埚,可增加炉管内洁净度及真空度(图3-4

         

        ·设有开门断电功能,提高实验安全性(图5-6)

         

        ·炉底安装一对滑轨,可用手动滑动,炉子可以滑动700mm的距离

             
                    图1              图2                 图3                    图4
         
                       图5                 图6

         

         

        基本参数

         

        热偶K型热偶        建议升温速率10℃/min   

         

        温度1100℃ 1200℃1h     电源:AC220,50Hz   最大3KW

         

        高纯石英管尺寸

        ·尺寸:50 O.D x 44 I.D x 1500 L (mm)

        加热元件

        掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)

        加热区

        每个加热炉加热区长度200mm

         

         

         

         

         

         

         

         

        密封法兰

         

        ·一对SS 304真空法兰与双高温硅O形环包括在内

         

        ·两个针阀已分别安装在两个法兰上(图一)

         

        ·一个真空压力表安装在一侧法兰(图一)

         

        ·可选:您可以选购kf25真空口法兰(图二)

         

        ·您可以订购法兰支架(图三)

           
                  图一            图二               图三

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        温控系统

         

        ·含一款808P型温度控制器

         

        ·PID自动控温系统

         

        ·智能化30段可编程控制

         

        ·控温精度:±1℃

         

        ·默认DB9 PC通信连接端口

         

        ·通过MET认证

         

        可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据。

         

         

         

         

         

        可选

         

        ·可选购电动滑轨(图一)

         

        ·可选购1-9通道混气系统(图二)

         

        ·100W-500W的射频等离子源,与管式炉配合可搭建起等离子增强的加热CVD系统(图三)

             
                   图一            图二             图三               图四

         

         

         

         

         

         

         

        温度校准(可选)

         

        ·定期对管式炉进行温度校准,保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括:

         

        ·48L(1/4OD)K型热电偶校准

         

        ·Omega温度校准器

         

        ·热电偶补偿线

         

        ·你可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr

         

         

         

        滑轨

         

        ·镀铬钢制成的双滑轨

         

        ·长度:1600mm

         

        ·滑轨中包含两个固定装置,用于固定炉子的位置

         

         

         

         

         

         

         

        真空系统(可选)

         

        ·用机械泵真空度达 50 mtorr 参考值,详情请点击

         

        ·用分子泵真空度可达 10E-4 torr 参考值,详情请点击

         

         

         

        尺寸

         

        炉体:340mm L x 330mm W x 400mm H

        整体:1600mm L x 430mm W x 500mm H

         

        净重

        80Kg

         

         

         

         

        保修期

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


        点击查看售后服务承诺书。

         

         

         

         

         

         

        认证

         

        所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        使用注意事项

         

        ·炉管内气压不可高于0.02MPa

         

        ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

         

        ·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当

         

        ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

         

        ·石英管的长时间使用温度<1100℃

         

        ·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

         

        ·提示:最大的加热和冷却速度是通过将炉管的一侧预热到目标温度,然后将炉子滑到另一侧来实现的。 您可以选择将样品放置在预热区域。

         

         

         

        应用提示

         

        ·如何在MTI管炉上放置管堵和真空法兰。

         

        ·为了在管式炉内获得准确的温度,在使用前需要校准温度,请点击这里了解如何使用。

         

         

         

        免责声明

         

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