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        产品详情
        • 产品名称: Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire dia100 x 0.53 mm )
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 328

        产品名称:

        Al2O3+Si薄膜(SOS)进口料(大尺寸Silicon-on-Sapphire)

        常规尺寸:

         dia100;单抛

         

        技术参数:

        Si晶向:

        <100>

        Si掺杂类型:

        本征;不掺杂

        Si厚度:

        0.6um +/- 0.06 um 

        Si电阻率:

        > 100 ohm.cm

        Al2O3基片:

        R plane with single flat

        Al2O3尺寸:

        dia100 x 0.53 mm 

        平面度(flatness):

        10um

        平行性(Parallelism)

        20um

        抛光情况:

        单抛

        Projected C-Axis: 

        45 degree +/- 2 degree

        备注:

        可按照客户要求在C plane Al2O3上镀Si

         

        标准包装:

        1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装

         

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