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        产品详情
        • 产品名称: 小型等离子清洗机--PCE-6V
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: PCE-6V
        • 浏览次数: 1227

               PCE-6V小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术,采用气体作为清洗介质,有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵,清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面,可短时间内彻底清洗掉有机污染物,清洗程度可达到分子级。另外,其样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。此外,其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

         

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        技术参数

         

         

         

         

         

         

         

         

        主要特点

         

        l采用气体作为清洗介质,避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。

         

        l可短时间内彻底清洗掉有机污染物。

         

        l清洗程度可达到分子级。

         

        l可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。

         

        l清洗过程中的辉光放电可对某些特殊用途的材料加强粘附性、相容性和浸润性,并可消毒和杀菌。

         

        l样品台可选配加热功能,可加负偏压,用以实现离子蚀刻。

         

        l广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        参数

         

        l电压:AC220V  10A

         

        l消耗功率:<500W(包括真空泵)

         

        lRF电源:输出功率100W,输出频率13.56MHz

         

        l腔体:Φ190mm×98mm

        l石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm

         

        l内腔:Φ165mm×55mm

         

        l清洗电极:Φ120mm

         

        l样品台:Φ150mm,有效尺寸Φ140mm

         

        l样品台与电极间距:15mm-50mm可调

         

        l抽气管:Φ12mm

         

        l极限真空度:0.1Pa

         

        l工作真空度:60Pa-500Pa

         

        l气路数量:2路(选装)

         

        l流量控制器数量:1、2

         

        l流量显示仪:2通道

         

        l气路接口:Φ6mm

         

        l加热样品台:Φ140mm,加热样品温度RT-600℃±1℃(选装)

         

        l冷却水压力:0.2KPa-0.4KPa

         

        l工作环境:温度5℃-35℃,湿度<80%(相对湿度)不结露,海拔高度0-2000m

         

         

         

        产品规格

         

        l尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

         

        l重量:20kg(不含真空泵)

         

         

         

        可选配置

         

        l加热样品台

         

        l流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2个通道)

         

         

         

        免责声明

         

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