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        产品详情
        • 产品名称: 6英寸小型等离子清洗机--PCE-6
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: PCE-6
        • 浏览次数: 1812

                PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz1%),输出功率7.2W10.2W29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

         

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        技术参数

        名称

        6英寸等离子清洗机--PCE-6

         

         

         

         

        主要特点

         

         

        ·拥有6英寸清洗腔室,可清洗约5英寸直径的基片

         

        ·通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间

         

        ·时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上

         

        ·设有一个三通阀,可大体控制进气流量

         

         

         

         

         

         

        主要参数

         

        ·输出功率:7.2W、10.2W、29.6W

         

        ·总功率:<600W

         

        ·射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节

         

        ·电源:AC220V  50Hz

         

         

         

         

         

         

        等离子腔体

         

        ·高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗

         

        ·带观察窗的铰链式门,便于样品加载和观察

         

         

         

         

         

        控制面板

        ·控制功能:清洁时间,射频功率,真空泵。

         

         

         

         

        真空泵(标配)

        ·真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵

         

         

         

         

        等离子清洗机及刻蚀的方法

         

         

         

        惰性气体

         

        ·通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

         

        ·等离子清洗机不得使用易燃及腐蚀性气体

         

         

         

         

         

         

        可选配件

         

        ·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PCE-6等离子清洗机可以2路混气系统组合

         

        ·您可以订购石英晶片载体来盛放清洁的基

         

         

        外形尺寸

        400mm×300mm×300mm

        净重

        10.2kg

        认证

        CE认证

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。

         

        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        点击查看售后服务承诺书。

         

        使用注意事项

        正压会损坏等离子石英室。

         

         

        免责声明

         

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