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        产品详情
        • 产品名称: 2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪-VTC-2DC
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: VTC-2DC
        • 浏览次数: 1186

              VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。

         

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        用直流磁控溅射仪可获得单相Al

         

         技术参数

        设备名称

        500W直流等离子磁控溅射镀膜仪-VTC-2DC

         

         

         

         

        主要参数

         

        输入电源:220V AC 50Hz   

         

        输出电压:600 VDC

         

        输出功率:最大500W

         

        整机功率1000W包括真空泵)

         

         

         

         

        溅射腔体

         

        l采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H(配置直靶头)

                                         尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 290 mm H(配置带角度倾斜靶头)

         

        l密封法兰:直径为165 mm,采用金属制作,密封采用O形密封圈

         

         

         

         

        溅射头&样品台

         

         

         

        l溅射头安装靶材直径为2英寸,同时可选配1英寸溅射头

          
            1英寸靶头         2英寸靶头

         

        l仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其与溅射头之间距离40-80mm可调

         

        l样品台可加热加热温度RT-500℃RT为室温)

         

        l安装有一可手动操作的挡板

         

        l最大可制膜的直径为:2英寸标配2英寸,如果需要更大尺寸请与我们销售联系

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        真空系统
         

         

        l安装有KF25真空接口

         

        l数字真空压力表(Pa)

         

        l此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含)

         

        l采用机械泵< 3.8E-2 Torr(参考值,详情请点击

         

        l采用涡旋分子泵< 3.8E-5 Torr(参考值,详情请点击

         

        l可在本公司选购各种真空泵

         

         

         

        进气

         

        l设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶

         

        l设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流

         

         

         

         

         

        靶材

         

        l靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度)

         

        l可在本公司选购各种靶材

         

         

         

         

        薄膜测厚仪(可选)

         

        可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上

           

         

         

         

         

        产品外型尺寸

         

        540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H

          

        净重70 kg(不包括泵)

        质量认证

        CE认证

         

         

         

        质保

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        点击查看售后服务承诺书。

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        使用提示

         

         

        l有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜

         

        l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N)

         

        l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净

         

        l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面

         

        l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。

         

        l等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物。

         

        l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。

                       
            超声波清洗机           等离子清洗机                 蒸镀仪                 手套箱  

         

         

         

         

        警告

         

        l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。

         

        l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用

         

        l溅射头连接到高电压。为了安全操作者必须关闭设备前装样和更换靶

         

         

         

        免责声明

         

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