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        产品详情
        • 产品名称: Si+Al薄膜
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        • 产品型号:
        • 浏览次数: 369

        产品名称:

        Si上镀Al薄膜(Aluminum Film on Silicon Wafer)

         

        常规尺寸:

        dia 4" +/- 0.5 mm  x 0.525 +/- 0.025 mm 

        技术参数:

        Al薄膜厚度:

        3um

        薄膜电阻率:

        2.65  micro ohm-cm

        薄膜结晶:

        Weak (111) - oriented poly-crystals

        Si导电类型:

        N 

        Si电阻率:

        <0.005 ohm-cm 1-10ohm-cm 

        Si晶向:

        <100>±0.5°

        抛光情况:

        单抛

         

        标准包装:

        1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装

         

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