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        产品详情
        • 产品名称: 等离子清洗机- PCE-80
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 1118

            PCE-80是一款较大型的等离子清洗机,等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体,采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

         

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        技术参数

         

         

         

         

         

        输入电源


        • AC 220V , 50/60 Hz, 

         

         

        • 最大射频功率: 100 W 

         

         

        • 真空泵功率: < 500W

         

         

        • 总功率: < 600W

         

         

         

         

         

         

        射频功率


        • 射频功率可在 0 - 100W之间调节

         

         

        • 射频:   13,56 MH

         

         

        • 可以与本公司工作人员联系采用300W或500W的射频电源,来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验

         

         

         

         

         

         

        等离子腔体


        • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体

         

         

        • 铝制折叠式法兰来进行真空密封

         

         

        • 法兰上有一个直径为60mm的观察窗口

         

         

         

         

         

        控制面板


        • 通过6" 彩色触摸屏,可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等.

         

         

        • 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计,可精确地控制进气流量

         

         

         

         

         

         

         

        真空泵(选配)


         

         

        • 极限真空度为50mTorr

         

         

        通入气体

        等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, AirH2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定)

         

         

         

         

         

         

        可选


         

         

        • 可选购2-4通道质子或浮子混气系统

         

         

        外型尺寸

        620 L ×450 W ×600 H, mm

        质保期

        一年质保期,终生维护

         

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