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        产品详情
        • 产品名称: 1700°C二通道混气高真空CVD系统--GSL-1700X-HVC
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:
        • 浏览次数: 980

             GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成其最高工作温度可达1600极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

         技术参数

        GSL-1700X 系列管式炉

        壳体

        炉管

        • 材质高纯氧化铝陶瓷管
        • 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上
        • (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
        • (选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

        功率

         

                6KW

        工作电压

         

                AC 208-240V单相, 50/60Hz

        加热元件

         

                8 1800°C grade MoSi2 heating element

        工作温度

        • 最高工作温度.: 1650°C
        • 连续工作温度.: 1600°C

        升温速率

         

                 ≤5°C/min

        加热区长度

        • 加热区长度: 457 mm (18")
        • 恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        温控系统

        • 采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序
        • 控温精度: ±1°C                   
        • 控温仪表操作视频
        • 热电偶: B 型,已经安装在炉内

        真空法兰

        • 一对不锈钢真空密封法兰已经安装
        • 法兰上带有一机械压力表
        • 两个精密针阀
        • 一个KF-25连接器 KF-25  KF-40 抽气接口
        • 一个1/4"卡套接头

        外形尺寸

         

                550 x 380 x 520mm

        高真空机组

        功率

         

                100~110W

        工作电压

         

                AC 208-240V单相, 50/60Hz

        外形尺寸

         

                600(L) x 600(W) x 700(H), mm

        壳体

        • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
        • 最大承载量:       600 Lbs on top
        • 分子泵控制面板:   LCD 数字显示
        • 内装有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

        控制面板

        • 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) 
        • 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

         

        抽气速率

        • N2     33 L/s
        •  He     39 L/s   (2340L/minute)
        • H2   32 L/s

        工作范围

         

                1000 mbar to <1E-7 mbar

        极限

         

                <1E-8 mbar (without any leaking )

        质量流量控制器

        壳体

        • 采用 316不锈钢制作
        • 混气箱尺寸: Φ80X120mm  
        • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
        • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根据客户要求定制

         

        功率

         

                  18W

        工作电压

         

                  AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

        质保期

         

          一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

        质量认证

            
         

         

          Operation Manual


         

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