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        • 产品名称: 可自动扫描等离子表面处理仪--GSL-1100XPJF-A
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: GSL-1100XPJF-A

        下载附件:

               GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

         

           免责声明:本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅供参考。可能由于更新不及时和网站不可预知的BUG造成数据与实物的偏差。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,科晶公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您见谅。

         

         技术参数

         

        名称

        可自动扫描等离子表面处理仪--GSL-1100XPJF-A

         

         

         

        视频

                          操作视频

         

         

         

        主要参数

         

        ·工作环境:温度 < 42°C,湿度 ≤ 40℃RH

         

        ·输入电源:208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W

         

        ·等离子体工作压力

         

         

         

         

         

        RF发生器

         

        ·输出频率:20-23kHz , 25KV

         

        ·等离子枪头:仪器中包括两种等离子枪头:圆形头:10-12mm,矩形头:15-18mm

           

         

         

        输入气体气压,工作气体

         

        ·40 PSI min.(0.055 Mpa)

         

        ·Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

         

        样品台和控制柜

         

        ·配有可在X-Y轴移动的样品台,通过步进电机驱动,采用SBC控制盒控制

         

        ·可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离

         

        ·控制盒采用LCD显示,可设置其等离子枪头的扫描程序

         

        ·最大扫描范围:8" x 9"

         

        ·一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上,可吸住直径为6"的样品

         

        ·配有一真空泵,可与真空吸盘相连接

         

        ·整个系统安装在一移动架上(600x600x 800Lmm)

         

        ·可选:可选加热样品台(最高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作

            

         

         

         

        外形尺寸

         

        ·处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H

         

        ·等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H

         

        ·控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H

         

        净重

        55kg

        认证

        CE认证

         

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。

         

        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

         

        点击查看售后服务承诺书。

         

        文献

        请点击链接以了解更多关于AP-PECVD应用的信息:常压等离子体增强化学气相沉积(AP-PE-CVD)用于在低温下生长薄膜。

         

         

        免责声明

         

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