中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 可自动扫描等离子表面处理仪--GSL-1100XPJF-A
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的一致性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

         

        操作视频

         

         

        技术参数

        输入电源

        208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

        RF发生器

        • 输出频率:20-23kHz , 25KV
        • 等离子枪头:仪器中包括两种等离子枪头:圆形头:10-12mm,矩形头:15-18mm
            
          (点击图片查看详细资料)

        输入气体气压,工作气体

        • 40 PSI min.(0.055 Mpa)
        • Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

        等离子体工作压力

        7- 10 PSI

        工作环境

        温度 < 42°C,湿度 ≤ 40℃RH

        样品台和控制柜

        • 配有可在X-Y轴移动的样品台,通过步进电机驱动,采用SBC控制盒控制
        • 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离
        • 控制盒采用LCD显示,可设置其等离子枪头的扫描程序。
        • 最大扫描范围:8" x 9"
        • 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上,可吸住直径为6"的样品。
        • 配有一真空泵,可与真空吸盘相连接
        • 整个系统安装在一移动架上(600x600x 800Lmm
        • 可选:可选加热样品台(最高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。

        尺寸&重量

        • 处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
        • 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
        • 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H
        • 重量:55kg
        操作视频 点击查看

        质保&质量认证

        一年质保期,终生维护

        CE认证