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        • 产品名称: 近距离蒸发镀膜 ( CSS)炉
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

            OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVDCSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20ºC/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1ºC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe、硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具。
         

        技术参数

        真空腔体

        • 腔体为一高纯石英管
        • 尺寸:  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

        真空法兰

        • 真空法兰材质为316不锈钢制作
        • 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
        • 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
        • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr,用分子泵其真空度可达到10-5 torr
        • 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动
        • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度

                                  (点击图片查看详细资料)

        混气系统

        可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用(本公司生产多路浮子和多路质子混气系统)
                      
               

         

        加热元件和载样台

        • 由两组IR红外灯管进行加热
        • 额定功率800 W     总功率:1600W 
        • 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上
        • 一个3"的基片载样台安装腔体顶部
        • 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片(3"Dia x0.5mm Thick ),使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀
        • 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 
             


        热电偶

         

         

        两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

        温控系统

        • 两个控温系统都为PID30段程序化控温
        • 可以选购PC控温软件,将温度程序设置和温度曲线导入电脑中
               

        工作温度

        • 两个加热区域单独工作的最高温度:      <= 650ºC
        • 两个加热区域最大温差:  <= 350 ºC

        加热和冷却速率

        • 加热速率:   > 8 ºC /S
        • 冷却速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

        电源

        208 - 240VAC, 单相(需20A的空气开关)

        真空系统(选配)

         

        可在本公司选购真空泵和水冷系统

                           

        质保期       

        一年质保期  (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )

        质量认证

          CE 

        相关文献