Al2O3参数：

c-Axis (0001) off angle 0.2O±0.1 @ M-plane，dia50.8 mm ± 0.25 mm,单抛

GaN厚度：

3.0 um +/- 10%

电阻率：

3- 5 Ω-cm

载流子浓度：

1x10^¹⁷ ~3x10^¹⁸/cm3

空穴迁移率：

20cm-2/V

RMS：

 <1nm

FWHM of RC for(002)：

~~350 arcsec

FWHM of RC for(102)：

~~450 arcse