中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 1700℃单温区三通道混气CVD系统--GSL-1700X-F3LV
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

          GSL-1700X-F3LV是一款CE认证的管式炉CVD系统,其真空泵采用双旋片式,混气系统采用三路浮子供气系统,最高温度可以达到1700°C真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。

          技术参数

        管式炉结构
        加热元件


            1800 grade MoSi2 ( 8根) 
         

        最高工作温度     1700℃
        最大升温速率     5/min
        最大降温速率
            5/min
        加热区长度
            455mm (18")
        恒温区长度  
            150(+/-1
        注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 
        温控系统
        • 一个精密温度控制器 PID方式控制,通过可控硅 SCR
        • 可设置30段升降温程序. 
        • 控温仪表操作视频
        • 带有过热和断偶保护
        控温精度     +/-1
        炉管材质和尺寸
        • 99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管
        • (标配)OD: 60 mm:ID: 50mm x1000 mm L   
        • (选配)OD: 80 mm:ID: 70mm x1000 mm L
        密封法兰
        • 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)和阀门
        • 通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr 
        • 泄漏率最大6 mtorr/min
        输入电源     AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:最大5KW
        真空泵和配件 真空泵
        • 一个双旋片式机械泵安装在移动架内
        • 通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr 
        配件
        • 标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口,两个不锈钢针阀, 1/4"的软管接头
        • 一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍
        • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)

         

        气体流量计

        • 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。
        • 第一路气体流量范围为10-100 cc/min. 
        • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min. 
        • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
        •  一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ,来监测混合气体的压力
        • 四个不锈钢针阀安装在前面板上

          Front Panel Back Panel Gas Routes
              
        运输信息 产品尺寸
        • 外径80 & 100mm 的氧化铝陶瓷管
        • 炉体尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H
        • 混气系统:: 600 x 600 x 700mm 真空机组: 600 x 600 x 700mm
        净重    450 lb (总计)
        运输重量    500 lb (总计)
        质保期     一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件
        质量认证         CE certified