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        • 产品名称: 1200℃三温区三通道混气CVD系统--OTF-1200X-80-III-F3LV
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

           OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统其管径为80mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr

          技术参数

        壳体结构

        功率

                5 KW

        电压

                AC 208-240V单相, 50/60 Hz

        加热元件

                 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

        最高工作温度

                 1200℃

        连续工作温度

                 1100℃

        最大加热速率

                 ≤20  ℃/min

        石英管&

        密封法兰

        • 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内
        • 仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰,压力表和阀门(点击下面的图片查看详细的信息)

         

         

        滑动法兰与样品架

            

              

         

        加热区长度

        • 三个温区长度: (880mm, 35" in total)
        • 温区 1: 220mm  (8.6" )  
        • 温区 2: 440mm  (17.3")
        • 温区 3: 220 mm (8.6") 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        温控系统

        • 三个精密温度控制器,可独立控温
        • PID控制方式,通过PWM固体继电器。
        • 30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序.
        • 带有过热和断偶保护功能
        • 控温仪表操作视频

        控温精度

                +/- 1℃

        真空密封系统

         

        • 两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀).
        • 通过机械泵真空度可以达到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵,真空度可以达到10-4 torr.
        • 漏气率 < 5 m-torr / min

         

        真空泵

                 采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米
             

         

        数字式真空显示计

                可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换
             

         

        气体流量计和压力表

         

        • 三个浮子流量计,能够检测到气体的流          
        • 三路浮子量程分别为
        • 10-100 cc/min.
        • 16-160 cc/min.
        • 25-250 cc/min
        • 内部安装有一混气罐
        • 有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力

        阀门

           四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流量

        外形尺寸

        • 炉子: 1100 X 450 x 670mm
        • 底部移动架: 600x600x597mm
        开门断电

           为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
                

         

        净重

            约 90 Kg

        运输重量

              245 lbs

        质保期

            一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

        质量认证

             CE certified

        使用注意事项

        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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