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        • 产品名称: 混气系统3路浮子--GSL-3F
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线。
        • 产品型号: GSL-3F

        下载附件:

            这种气路控制系统适用于控制一种到三种气体的通入,管式炉可以放在它上面,结合科晶集团的管式炉,它可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响。

           

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         技术参数

        名称

        混气系统3路浮子GSL-3F

         

         

         

         

        浮子流量计

         

        三种不同量程的浮子流量计,控制精度4%

         

        ·A:10 - 100mL/min

         

        ·B:16 - 160mL/min

         

        ·C:25 - 250mL/min

         

        机械压力表(混气罐)

        ·-0.1-0.15 Mpa

         

         

         

         

        接头和气管

         

        ·在混气系统右侧安装三个气体进口

         

        ·两通道气体流入气体混合罐,另一个通道气体不通过气体混合管请参考说明书,也可另行定制,详情请咨询销售

         

        ·两个出口(可连接科晶管式炉)安装在混气系统的左侧(一混合气体和一路单独的气体

         

        ·12长1/4”直径的聚四氟及快插接头

           

         

         

        真空针阀

         

        ·采用ss304不锈钢

         

        ·安装在混气系统的右侧

         

        安装带刹车的转向轮

        外形尺寸:600 mm L x 600 mm W x 650 mm H

         

         

         

        可选

                      CVD或者PECVD            液相气体发生器

             

        净重

        75 Kg

         

         

         

        质保期

         

        一年保修,终身技术支持。


        特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

        2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。


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