中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
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        • 产品名称: 小型PECVD管式炉系统--OTF-1200X-50S-PE
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号: OTF-1200X-50S--PE

        下载附件:

            OTF-1200X-50S-PE是一款小型的PE-CVD(等离子体气相沉积)管式炉系统。此套设备带有500W的等离子射频电源,一个炉管直径为50mm的开启式管式炉(带有真空法兰和连接管道)和一个直联式双旋机械泵。因此这套设备模型可以更新为不同的PECVD  系统。对于有限的经费的情况下来进行材料探索,此套系统极为理想。

        特征

        • 与普通CVD相比可以在低温环境下进行气相沉积实验
        • 对于薄膜的应力可以通过射频电源的频率来进行控制
        • 通过工艺调节来控制化学计量
        • 能够广泛地用于各种材料沉积,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) .

         技术参数

        开启式管式炉

         

        等离子体射频电源

        • 输出功率: 5 -500W可调
        • 稳定性为+/-1%
        • 射频电源频率13.56 MHZ, 稳定性±0.005% 
        • 最大反向功率: 200W max
        • 射频电源电子输出口: 50 Ω, N型半岛体阴极
        • 噪声<50 dB.
        • 冷却方式:空气冷却
        • 输入电源: 208-240VAC, 50/60Hz  

        真空法兰和接头

        • 真空法兰采用304不锈钢制作
        • 左端法兰上安装有防腐型数字真空计、不锈钢针阀和一个球阀。
        • 右端法兰设计为KF25接口,上面配有泄气阀,挡板阀和两个KF25卡箍
        • 仪器中所配的数字真空计,可以不用因使用气体的不同而进行校正,同时还具有防腐功能(请点击图片查看详细介绍)
           

         

        真空泵

        • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
        • 2L/s
        • 与本公司管式炉配套使用,可使其真空度达到10-2 torr
        • 进气端带有储气球(防止回油),出气端安装有油雾过滤器(防止油雾扩散到空气中,保护环境和人体健康)
           

         

        产品尺寸和重量

           外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

           净重: 160 lbs

        可选配置

           请点击查看下面的混气及气液混合系统

        • 防腐型小型三路浮子混气系统
        • 精密气液混合系统
        • 三路质子混气系统
            

         

        开门断电

           为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
                

         

        质保期

           一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)

        质量认证

          CE Certified

        使用注意事项:
        • 炉管内气压不可高于0.02MPa
        • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
        • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
        • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
        • 石英管的长时间使用温度<1100℃
        • 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)