中美合资 合肥科晶材料技术有限公司-管式炉,马弗炉,高温炉,单晶基片,靶材,箱式炉,气氛炉,CVD管式炉,PECVD系统....


 
科晶新品
根据应用寻找设备
根据应用寻找晶体
-- A-Z晶体及材料 --
A-Z系列晶体
A-Z系列靶材
A-Z系列蒸发料
A-Z系列薄膜
A-Z系列金属丝箔 
A-Z系列粉料 
陶瓷玻璃及其他基片
晶体包装材料及工具
功能纳米材料
-- 加热炉系列 --
箱式炉
管式炉
混合箱/管式炉
高通量炉
CVD系统
氢气炉/高温高压炉
RTP快速退火炉
熔炼/铸造系列
晶体生长炉
工业炉
烘箱/真空储存箱
加热炉配件及耗材
-- 薄膜制备设备 --
等离子镀膜设备
蒸发镀膜设备
流延涂覆设备
化学气相沉积薄膜设备
静电纺丝/喷涂设备
丝印涂覆设备
旋涂/提拉涂覆设备
薄膜检测设备
-- 样品处理设备 --
混料、球磨系列设备
实验室压机/辊压机
清洗机设备
切割设备
研磨抛光设备
-- 电池研发全套设备 --
扣式电池研发设备
柱状电池研发设备
软包电池研发设备
超越锂电/固态电池
太阳能电池/燃料电池
电池测试设备
电池研发材料
-- 其他实验室设备 --
供气系统
真空系统
手套箱
检测设备
水冷机
电子天平
配件耗材

        • 产品名称: 1700°C二通道混气高真空CVD系统--GSL-1700X-HVC
        • 产品提示: 图片及数据仅供参考,具体请致电销售热线
        • 产品型号:

        下载附件:

             GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成其最高工作温度可达1600极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

         技术参数

        GSL-1700X 系列管式炉

        壳体

        炉管

        • 材质高纯氧化铝陶瓷管
        • 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上
        • (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L
        • (选配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

        功率

         

                6KW

        工作电压

         

                AC 208-240V单相, 50/60Hz

        加热元件

         

                8 1800°C grade MoSi2 heating element

        工作温度

        • 最高工作温度.: 1650°C
        • 连续工作温度.: 1600°C

        升温速率

         

                 ≤5°C/min

        加热区长度

        • 加热区长度: 457 mm (18")
        • 恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系 

        温控系统

        • 采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序
        • 控温精度: ±1°C                   
        • 控温仪表操作视频
        • 热电偶: B 型,已经安装在炉内

        真空法兰

        • 一对不锈钢真空密封法兰已经安装
        • 法兰上带有一机械压力表
        • 两个精密针阀
        • 一个KF-25连接器 KF-25  KF-40 抽气接口
        • 一个1/4"卡套接头

        外形尺寸

         

                550 x 380 x 520mm

        高真空机组

        功率

         

                100~110W

        工作电压

         

                AC 208-240V单相, 50/60Hz

        外形尺寸

         

                600(L) x 600(W) x 700(H), mm

        壳体

        • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
        • 最大承载量:       600 Lbs on top
        • 分子泵控制面板:   LCD 数字显示
        • 内装有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

        控制面板

        • 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) 
        • 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

         

        抽气速率

        • N2     33 L/s
        •  He     39 L/s   (2340L/minute)
        • H2   32 L/s

        工作范围

         

                1000 mbar to <1E-7 mbar

        极限

         

                <1E-8 mbar (without any leaking )

        质量流量控制器

        壳体

        • 采用 316不锈钢制作
        • 混气箱尺寸: Φ80X120mm  
        • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
        • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根据客户要求定制

         

        功率

         

                  18W

        工作电压

         

                  AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

        质保期

         

          一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

        质量认证

            
         

         

          Operation Manual


         

        相关产品